MEMS定义 微电子机械系统是以微电子、微机械及材料 科学为基础，研究、设计和制造具有特定功能的 微型装置（包括微结构器件、微传感器、微执行 器和微系统等方面)的一门科学。 由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把 微电子电路比作人的大脑，微机械比作人的五官 (传感器)和手脚（执行器），两者的紧密结合， 就是一个功能齐全而强大的微系统
MEMS定义 微电子机械系统是以微电子、微机械及材料 科学为基础，研究、设计和制造具有特定功能的 微型装置（包括微结构器件、微传感器、微执行 器和微系统等方面）的一门科学。 由于MEMS是微电子同微机械的结合，如果把 微电子电路比作人的大脑，微机械比作人的五官 （传感器）和手脚（执行器），两者的紧密结合， 就是一个功能齐全而强大的微系统
控制部分 电子学 微电子学 3 机械 部分 MEMS 传感 执行
机械 部分 传感 执行 控制部分 电子学 MEMS 微电子学
典型的MEMS示意图 MEMS由传感器、信息处理单元、执行器和通讯/接口单元 等组成。其输入是物理信号，通过传感器转换为电信号， 经过信号处理（模拟的和/或数字的）后，由执行器与外 界作用。每一个微系统可以采用数字或模拟信号（电、 光、磁等物理量)与其它微系统进行通信 力 传 执 运动 光 声 模拟眉 数字信 模拟肩 能包 阖度 感 身处理 号处理 号处理 行 信息 化署 甚鸢 器 器 其它 与其它微系统的通信/接口 感测量 (光电磁) 控制量
MEMS由传感器、信息处理单元、执行器和通讯/接口单元 等组成。其输入是物理信号，通过传感器转换为电信号， 经过信号处理（模拟的和/或数字的）后，由执行器与外 界作用。每一个微系统可以采用数字或模拟信号（电、 光、磁等物理量）与其它微系统进行通信 典型的MEMS示意图
MEMS的发展过程 20世纪60年代： 采用将传感器和电子线路集成在一个芯片上的设计思想来 制作集成传感器。 20世纪60年代后期： 硅刻蚀技术用于制作能将压力转换为电信号的应变薄膜结 构。 20世纪70年代： 人们使用硅各向异性选择性腐蚀制作薄膜，掺杂以及基于 电化学的腐蚀停刻技术也出现了，随之而来的是“体硅加 工”技术
MEMS的发展过程 20世纪60年代 ： 采用将传感器和电子线路集成在一个芯片上的设计思想来 制作集成传感器。 20世纪60年代后期： 硅刻蚀技术用于制作能将压力转换为电信号的应变薄膜结 构。 20世纪70年代 ： 人们使用硅各向异性选择性腐蚀制作薄膜，掺杂以及基于 电化学的腐蚀停刻技术也出现了，随之而来的是“体硅加 工”技术