MEMS“微米级” 加工技术 A 10m 884815KU X358100y■N019 2um 100μm 3um 20m 100 um kv xe.a'1s.8cm
MEMS “微米级”加工技术 100μm
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第一台静电电动机 1988年美国科学家研制。 转子直径120微米，厚1微 28 33KU 米。在380V电压驱动下， 18nD25 显微照片 最大转速每分钟500转
显微照片 1988年美国科学家研制。 转子直径120微米，厚1微 米。在380V电压驱动下， 最大转速每分钟500转。 第一台静电电动机
MEMS微型传感器 微传感器的尺寸大多为毫米级，甚至更小。例 如：压力微传感器可以放在注射针头内，送入 血管测量血液流动情况。 加速度传感器 pitch MEMS gyroscope 压强传感器 压力传感器 三轴陀螺仪
MEMS 微型传感器 压强传感器 压力传感器 微传感器的尺寸大多为毫米级，甚至更小。例 如：压力微传感器可以放在注射针头内，送入 血管测量血液流动情况。 加速度传感器 三轴陀螺仪
MEMS 微型执行器
MEMS 微型执行器