。粗真空 1.013×105~1.333×103Pa 。低真空 1.333×103~1.333×10-Pa 。高真空 1.333×101~1.333×106Pa ·超高真空 1.333×10-6~1.333×10-10Pa 。极高真空 <1.333×10-10Pa
⚫ 粗真空 ⚫ 低真空 ⚫ ⚫ 高真空 ⚫ 超高真空 ⚫ 极高真空 Pa 5 3 101310 ~ 133310 Pa 3 1 1 333 10 ~ 1 333 10− Pa 1 6 1 333 10 ~ 1 333 10 − − Pa 6 1 0 1 333 10 ~ 1 333 10 − − Pa 10 1 333 10−
(3)真空测量方法 测量低于大气压的气体压强的工具称为真 空计。真空计可以直接测量气体的压强，也可 以通过与压强有关的物理量来间接地测量压强。 前者称为绝对真空计，后者称为相对真空计。 按照真空计的不同原理与结构可以分为：静态 变形真空计、压缩式真空计、热传导真空计、 电离真空计、气体放电真空计、辐射真空计等
（3）真空测量方法 ⚫ 测量低于大气压的气体压强的工具称为真 空计。真空计可以直接测量气体的压强，也可 以通过与压强有关的物理量来间接地测量压强。 前者称为绝对真空计，后者称为相对真空计。 按照真空计的不同原理与结构可以分为：静态 变形真空计、压缩式真空计、热传导真空计、 电离真空计、气体放电真空计、辐射真空计等
(4)真空技术的发展及应用 十九世纪初，利用低真空产生压力差的原 理发明了真空提升、真空输送、吸尘、过滤、 成形等技术。1879年爱迪生发明白炽灯，抽出 灯泡中化学成份活泼的气体（氧、水蒸汽等）， 防止灯丝在高温下氧化.同年，克鲁克斯发明 阴极射线管，第一次利用真空下气体分子平均 自由程增大的物理特性.后来，在电子管、电 视管、加速器、电子显微镜、镀膜、蒸馏等方 面也都应用了这一特性.1893年发明杜瓦瓶， 这是真空绝热的首次应用
⚫ 十九世纪初，利用低真空产生压力差的原 理发明了真空提升、真空输送、吸尘、过滤、 成形等技术。1879年爱迪生发明白炽灯，抽出 灯泡中化学成份活泼的气体(氧、水蒸汽等)， 防止灯丝在高温下氧化．同年，克鲁克斯发明 阴极射线管，第一次利用真空下气体分子平均 自由程增大的物理特性．后来，在电子管、电 视管、加速器、电子显微镜、镀膜、蒸馏等方 面也都应用了这一特性．1893年发明杜瓦瓶， 这是真空绝热的首次应用． （4）真空技术的发展及应用
真空技术在二十世纪得到迅速发展，并有 广泛的应用。二十世纪初，在真空获得和测量 的设备方面取得进展，如旋转式机械泵，皮氏 真空计，扩散泵，热阴极电离真空计的发明， 为工业上应用高真空技术创造了条件.接着， 油扩散泵，冷阴极电离真空计的出现使高真空 的获得及测量取得一大进展.五十年代，真空 技术进入超高真空时代，发明了B-A规，离子 泵，涡轮分子泵.近二十年来，高能加速器， 受控热核反应装置、空间技术，表面物理，超 导技术笋，对真空技术提出了更新，更高的要 求，使真空技术在超高真空甚至极高真空方面 迅速发展
⚫ 真空技术在二十世纪得到迅速发展，并有 广泛的应用。二十世纪初，在真空获得和测量 的设备方面取得进展，如旋转式机械泵，皮氏 真空计，扩散泵，热阴极电离真空计的发明， 为工业上应用高真空技术创造了条件．接着， 油扩散泵，冷阴极电离真空计的出现使高真空 的获得及测量取得一大进展．五十年代，真空 技术进入超高真空时代，发明了B-A规，离子 泵，涡轮分子泵．近二十年来，高能加速器， 受控热核反应装置、空间技术，表面物理，超 导技术笋，对真空技术提出了更新，更高的要 求，使真空技术在超高真空甚至极高真空方面 迅速发展．
实验目的 。(1)掌握真空获得和测量的方法， ○(2)掌握真空镀膜的方法
实验目的 ⚫（1）掌握真空获得和测量的方法． ⚫（2）掌握真空镀膜的方法