第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 4.9.2光栅式数字位移传感器 刻线区 1.光栅： (1)定义：一种在基体（金属或玻 璃)上刻制有等间距均匀分布线纹的 光学元件。 可分为直光栅和圆光栅。 a一刺线宽度 b一缝隙宽度 上W一光糰圆距 线纹密度： 每毫米长度上的刻线数、 常见的有10、50、100、200
广东工业大学机电工程学院 4.9.2 光栅式数字位移传感器 1.光栅: （1）定义：一种在基体（金属或玻 璃）上刻制有等间距均匀分布线纹的 光学元件。 可分为直光栅和圆光栅。 线纹密度： 每毫米长度上的刻线数. 常见的有10、50、100 、200 第四章 常用传感器和敏感元件
第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 (2)分类 反射光栅：在金属镜面上刻制出全反射和漫反射 间隔相等的条纹。 透射光栅： 在玻璃表面上制出透光和不透光的黑 白相间条纹。 a.莫尔条纹式光栅 b.透射直线式光栅
广东工业大学机电工程学院 （2）分类 反射光栅: 透射光栅: 在金属镜面上刻制出全反射和漫反射 间隔相等的条纹 。 在玻璃表面上制出透光和不透光的黑 白相间条纹 。 a.莫尔条纹式光栅 b.透射直线式光栅 第四章 常用传感器和敏感元件
第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 2.光栅位移传感器结构 主要由标尺光栅（长光栅）、指示光栅（短光 栅)、光源、光电元件、聚光镜等组成。 指示光栅 标尺光栅 聚光镜 光源 光电元件 透射光栅示意图
广东工业大学机电工程学院 2.光栅位移传感器结构 主要由标尺光栅（长光栅）、指示光栅（短光 栅）、光源、光电元件、聚光镜等组成。 第四章 常用传感器和敏感元件
第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 标尺光栅 读数头 (内有标尺光栅，光源，光 电元件，聚光镜等)
广东工业大学机电工程学院 标尺光栅 (内有标尺光栅，光源，光 电元件，聚光镜等） 读数头 第四章 常用传感器和敏感元件
第四章常用传感器和敏感元件 广东工业大学机电工程学院 3.光栅式数字位移传感器 (1)莫尔条纹的形成 两块栅距相同（刻线和缝隙宽度相等)、平行互 相靠近且沿刻线方向保持一个很小的夹角的光栅在刻 线的垂直方向上产生相对运动时，由于遮光效应形成 的明暗相间的干涉条纹。 两光栅有一个夹角，形成莫尔条纹现象。 两光栅相对移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条 纹宽度某一个固定点的强度发生强-弱-强的周期变化
广东工业大学机电工程学院 两块栅距相同（刻线和缝隙宽度相等）、平行互 相靠近且沿刻线方向保持一个很小的夹角 的光栅在刻 线的垂直方向上产生相对运动时，由于遮光效应形成 的明暗相间的干涉条纹。 两光栅有一个夹角，形成莫尔条纹现象。 两光栅相对移动一个栅距，莫尔条纹移动一个条 纹宽度某一个固定点的强度发生强-弱-强的周期变化。 （1）莫尔条纹的形成 3. 光栅式数字位移传感器 第四章 常用传感器和敏感元件