电子探针
电子探针
电子探针简介·电子探针显微分析仪（ElectronProbeMicroAnalyzer，EPMA）是一种微区成分分析的仪器，可以认为它是扫描电镜和XRF的结合体。即在扫描电镜的基础之上添加了XRF的分光系统和检测系统，而XRF中的光源（X光管）用SEM中的电子束代替，实现电子束激发X射线荧光并进行检测。一次电子聚焦园探测器背散射电子检测器①背散射电子(BackScatteredElectron)X光管第二狭缝X射线检测器次电子检测器③特征X射续③二次电子光子(SecondaryElectron)分光晶体1狄缝②吸收电子品Electron)(Absorbed电子束激发x射线荧光X射线激发X射线荧光
电子探针简介 • 电子探针显微分析仪（ Electron Probe Micro Analyzer，EPMA）是一种微 区成分分析的仪器，可以认为它是扫描电镜和XRF的结合体。即在扫描电镜 的基础之上添加了XRF的分光系统和检测系统，而XRF中的光源（X光管）用 SEM中的电子束代替，实现电子束激发X射线荧光并进行检测。 电子束激发X射线荧光 X射线激发X射线荧光
EPMA与XRF相比1.优点：由于电子探针本身就是一台扫描电镜，因此在XRE的基本功能上，还能实现微区操作以及SEM拍照以及EDS功能。2.缺点：在大样品的整体成分测定，以及部分不耐电子束辐照的样品检测方面不如XRF。另外，XRF可以实现更大功率检测。CENTERXRF-1800EPMA-8050G
EPMA与XRF相比 1. 优点：由于电子探针本身就是一台扫描电镜，因此在XRF的基本功能上，还 能实现微区操作以及SEM拍照以及EDS功能。 2. 缺点：在大样品的整体成分测定，以及部分不耐电子束辐照的样品检测方 面不如XRF。另外，XRF可以实现更大功率检测。 EPMA-8050G XRF-1800
EPMA与SEM相比1.优点：成分检测方面功能远超扫描电镜的EDS，因此电子探针能进行更为精准的定性及定量分析。2.缺点：成像是劣势。一般好的场发射EPMA放大倍数不超过5OK倍，但好的场发射SEM能轻松达到500K倍。GeminiSEM500oGeminiSEM500EPMA-8050G
EPMA与SEM相比 1. 优点：成分检测方面功能远超扫描电镜的EDS，因此电子探针能进行更为 精准的定性及定量分析。 2. 缺点：成像是劣势。一般好的场发射EPMA放大倍数不超过50K倍，但好的 场发射SEM能轻松达到500K倍。 GeminiSEM 500 EPMA-8050G
电子探针结构1.电子光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、消像散器、二次电子和背散射电子探测器。基本同SEM。2.分光系统：分光晶体谱仪，基本同XRF。3，检测系统：闪烁计数器、流气正比计数器，基本同XRF
电子探针结构 1.电子光学系统：电子枪、电磁透镜、扫描线圈、消像散 器、二次电子和背散射电子探测器。基本同SEM。 2.分光系统：分光晶体谱仪，基本同XRF。 3.检测系统：闪烁计数器、流气正比计数器，基本同XRF