第二节X射线荧光光谱仪的类型和构造6.2.1X射线荧光光谱仪的类型X射线荧光光谱仪有两种基本类型波长色散能量色散X光管型能量色散同步辐射加速器型色散型波长色散X射线荧平行束法单道扫描型光光谱仪聚焦法多道型非色散型
第二节 X射线荧光光谱仪的类型和构造 6.2.1 X射线荧光光谱仪的类型 X射线荧光光谱仪有两种基本类型： 波长色散 能量色散 X光管型 能量色散 同步辐射加速器型 波长色散 色散型 非色散型 X射线荧 光光谱仪 平行束法单道扫描型 聚焦法多道型 1
1，能量色散型X射线荧光光谱能量色散是根据特征X射线光子的能量来鉴别元素的。能量色散样品受激产生的X射线荧光，经荻缝被探测器检测，通过前置放大器、放大线路将信号放大，再经过多道分析器色散，输入计算机获得样品的X射线荧光光谱：然后由定量分析程序计算出样品中各元素的含量。2
2 1. 能量色散型X射线荧光光谱 能量色散是根据特征X射线光子的能量来鉴别元素的。 能量色散样品受激产生的X射线荧光，经狹缝 被探测器检测，通过前置放大器、放大线路将信号 放大，再经过多道分析器色散，输入计算机获得样 品的X射线荧光光谱；然后由定量分析程序计算出 样品中各元素的含量
High&LowMagnificationCCD CamerasSi(Li) DetectorEerroKavX-rayTube&fluorescentX-raysCapillaryemittedfromOpticsSpecimenXYZMotorizedStageDetectorSignalsAnalyzer
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·能量色散型X射线荧光光谱仪结构、原理及使用上都比较简单，仪器分辨率较差例如扫描电镜和透射电镜中用到的EDS，也可以认为是一种能量色散型X射线荧光光谱仪。能量色散型X射线荧光光谱仪原理较为简单，波长色散型射线荧光光谱仪较为复杂。本课程我们主要讲解波长色散型X射线荧光光谱仪，能量色散型X射线荧光光谱仪仅做简单讲解
• 能量色散型X射线荧光光谱仪结构、原理 及使用上都比较简单，仪器分辨率较差。 例如扫描电镜和透射电镜中用到的EDS， 也可以认为是一种能量色散型X射线荧光 光谱仪。能量色散型X射线荧光光谱仪原 理较为简单，波长色散型X射线荧光光谱 仪较为复杂。本课程我们主要讲解波长色 散型X射线荧光光谱仪，能量色散型X射 线荧光光谱仪仅做简单讲解。 4
2．波长色散型X射线荧光光谱仪其分析原理是根据当样品中元素的原子受到高能X射线照射时，发射出具有特征的X射线谱的波长和强度来分别鉴定元素种类及测定其含量，而与激发X射线的能量无关按二次X射线分光方法和光路道数分为：A平行束法（平面晶体）光谱衍射方法B聚焦法（曲面晶体）C单道型道数D多道型5
2. 波长色散型X射线荧光光谱仪 其分析原理是根据当样品中元素的原子受到高能X 射线照射时, 发射出具有特征的X射线谱的波长和强度 来分别鉴定元素种类及测定其含量，而与激发X射线的 能量无关。 按二次X射线分光方法和光路道数分为： 光谱衍射方法 A平行束法(平面晶体) B聚焦法(曲面晶体) 道数 C单道型 D多道型 5