50pf R (11+12) 受光面 50pf (12-1) (2-I) (1+12) 位置信号 2 图3-35一维PSD位置检测电路原理图 2022/10/7 6
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4.8.3.二维PSD器件 如图3-36(a)所示，在正 方形的PN硅片的光敏面上 X3 R 设置2对电极，分别标注为 Y,Y2和X3,X4,其公共N 极常接电源Uob。三 维PSD 器件的等效电路如图336 b Ubb Ix4-Ix3 X二 (a) (b) Ix4+Ix3 图3-36二维DSP的结构图与等效电路 12-1 (a)二维DSP结构图 (b)等效电路 y= I2+1n 2022/10/7
2022/10/7 7 4.8.3.二维PSD器件 如图3-36（a）所示，在正 方形的PIN硅片的光敏面上 设置2对电极，分别标注为 Y1，Y2和X3，X4，其公共N 极常接电源Ubb。二维PSD 器件的等效电路如图3-36 （b）所示 + − = + − = 2 1 2 1 x 4 x 3 x 4 x 3 y y y y I I I I y I I I I x