S414.mems器件 mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、 光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感 器方面获得了越来越多的应用。 2022/10/7 1
2022/10/7 1 S4-14. mems器件 mems已经在光衰减器、光学开关、光电力学、 光学系统调谐及集成、光学扫描、光电图像传感 器方面获得了越来越多的应用
(MEMS)机械式光开关 MEMS:Micro Electronic and Mechanical System 利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置 MEMS器件 可调谐器件 微FP腔 可调光衰减器 光调制器 低速率、低成本 接入网 光滤波器 •复用/解复用器 光栅 2022/10/7 2
2022/10/7 2 （MEMS）机械式光开关 MEMS：Micro Electronic and Mechanical System 利用硅材料和微电子加工技术制作的微机械装置 MEMS器件 •可调谐器件 •微F-P腔 •可调光衰减器 •光调制器 •低速率、低成本 •接入网 •光滤波器 •复用/解复用器 •光栅
基于移动光纤式(MEMS) 特点 的用真数关X的到强 偏振无关 输入光纤 双向开关 机械可靠性高 设计不受光纤种类限制 开关速度慢（毫秒) 一民单 输出光纤 2022/10/7 3
2022/10/7 3 基于移动光纤式（MEMS) 特点 •偏振无关 •机械可靠性高 •设计不受光纤种类限制 •开关速度慢（毫秒）
基于微镜式(MEMS) 特点 结构 二维 ·偏振无关 N结构方案 机械可靠性高 ·活动微镜只有两种状态 扩展性好 运动方式：上下折叠、左右移动和旋转 开关速度较快（10微秒) 控制简单 组成部分 •难以直接实现大端口数（最大32) ·用级联方式实现大端口数（可达数百） 活动微镜 三维 驱动执行单元 ·2N个微镜 •输入/输出光纤 每个微镜有N个可能状态 驱动结构极为复杂 2022/10/7 4
2022/10/7 4 基于微镜式（MEMS) 特点 •偏振无关 •机械可靠性高 •扩展性好 •开关速度较快（10微秒） 组成部分 •活动微镜 •驱动执行单元 •输入/输出光纤 结构 •二维 •N2结构方案 •活动微镜只有两种状态 •运动方式：上下折叠、左右移动和旋转 •控制简单 •难以直接实现大端口数（最大32） •用级联方式实现大端口数（可达数百） •三维 •2N个微镜 •每个微镜有N个可能状态 •驱动结构极为复杂
基于微镜式MEMS(二维) ◆◆ ◆◆◆ ◆0 4◆A ◆ 44 ◆、 ◆◆ 个个 个44 ◆ 44 ◆今个个 ◆◆ ◆◆ 4X4 4×4组成的8×8 2022/10/7 5
2022/10/7 5 基于微镜式MEMS（二维） 4×4 4×4组成的8×8