S4-12 光栅式传感器 口光栅定义：在玻璃 (或金属)上进行刻划，可得到一系 列密集刻线，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称 为光栅。 口特点：1）精度高； 2)大量程测量兼有高分辨力；3) 可实现动态测量；4)具有较强的抗干挑能力。 口测量领域：主要是几何量（线位移和角位移）测量。其 它包括振动、速度、应力、应变等。 (如数控机床上的线位移和角位移量，用来进行自动控 制)
光栅定义：在玻璃（或金属）上进行刻划，可得到一系 列密集刻线，这种具有周期性的刻线分布的光学元件称 为光栅。 特点：1）精度高；2）大量程测量兼有高分辨力；3） 可实现动态测量；4）具有较强的抗干扰能力。 测量领域：主要是几何量（线位移和角位移）测量。其 它包括振动、速度、应力、应变等。 （如数控机床上的线位移和角位移量，用来进行自动控 制） S4-12 光栅式传感器
一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大 类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。 计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅
一、光栅的类型和结构 计量光栅可分为透射式光栅和反射式光栅两大 类，均由光源、光栅副、光敏元件三大部分组成。 计量光栅按形状又可分为长光栅和圆光栅
光栅的外形及结构 尺身 尺身安装孔防尘保护罩的内部为长磁栅 反射式扫描头 (与移动部件固定) 扫描头安装孔 可移动电缆
尺身 尺身安装孔 反射式扫描头 （与移动部件固定） 扫描头安装孔 可移动电缆 光栅的外形及结构 防尘保护罩的内部为长磁栅
光栅的外形及结构（续) 可移动电缆 扫描头（与移动部件固定) 光栅尺
可移动电缆 扫描头（与移动部件固定） 光栅尺 光栅的外形及结构（续）
反射式光栅 光电二极管接收器 红外光源(IRED) 00 透镜 参考点标志 刻线轨迹 刻线钢带 栅格
反射式光栅