高压电缆 电子枪部分 电子枪 接到高压发生装置 电子枪第1偏转线圈 加速管 电子枪第2偏转线圈 加速管·偏转系统 阳极室隔离阀 第1聚光境·线 第2聚光·线 聚光造第1偏转线图 聚光镜光阑装图 聚光镜第2偏转线圈 测角台 会聚小透镜(CM透镜)线圈 镜简 物镜光阅装置 照明透镜系统 试样架 试样台 物清像查线图 物镜·线圈 物小透镜(OM透镜)线圈 第1像平移线周 选区光附装置 2平移园 中间镜消像散线圈 放大·成像透镜系统 中间镜线圈 投影镜偏转线圈 投影镜线圈 观察隔离 双目显微镜 是家酱」 小荧光屏 底片送片品 大荧光屏 底片接收盒 观察室和照相室 照相室 11
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试样 物镜光澜 物镜 选区光闹 中间镜 ▣一-高分辩常 衍射试样： 投影镜 图2-8物镜极靴断面图 董光屏 P-形成磁场的两极，A一光阑；C一冷阱，S一校正象散的线 图2-7成象透镜系统示意图 12
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(日本)坂田茂雄，《电子显微镜技术， 1988年09月第1版 市场上出售的物镜光阑有一种是0.1毫米厚的钼片，中心有 一个30~50微米的孔，由于电子束照射所引起的污染比较严重， 所以需要经常更换或清洗。常用的清洗方法是在真空中加热，但 它只能烧掉硅质油污，所以也不是一种十分彻底的方法，使用几 次以后仍然需要更换新的光阑。 据说由10微米厚金属片制成的物镜光阑，由于电子束照射， 温度会有所升高，污染比较少。目前这种光阑在市场上已有出 售，但是它也不是很令人满意的。另外从经济观点来看，是否合 算，还不清楚。 n从灯丝到显示屏约11.5m,中间有56级磁透镜， 磁场中心精度0.1毫米，仍需多级调整居中
（日本）坂田茂雄, 《电子显微镜技术, 1988年09月第1版 n 从灯丝到显示屏约1~1.5m，中间有5~6级磁透镜， 磁场中心精度0.1毫米，仍需多级调整居中。 13
2.4.4光阑 ■TEM三种主要光阑是聚光镜光阑、物镜光阑、选区 光阑。 Mo光阑片 光阑孔周围开口 光阑支架 常选用无磁性的金属 材料制作光阑。 © 14
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Tecnai G2 20 透射电镜 TECNAI Accelerating voltage Electon gun Specimen Objective. lens Objective aperture lens' Projector 岛
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