第四章电子显微分析 1、透射电子显微分析(TEM) 第一节电子与固体作用产生的信号p42-46 第二节工作原理及构造p136p142 第三节样品制备p145148 第四节基本成像操作及相衬度*p149151 第五节典型应用*及其他功能简介p155161
1 第四章 电子显微分析 1、透射电子显微分析（TEM） 第一节 电子与固体作用产生的信号p42-46 第二节 工作原理及构造*p136~p142 第三节 样品制备p145~148 第四节 基本成像操作及相衬度*p149~151 第五节 典型应用*及其他功能简介p155~161
主要内容 [*第一节电子束与材料的相互作用 散射、电子写固体作用产生的信号#、 电子微发产生的其他规象（自学）、离 子束与材料的相互作用（澈射、溅 射与二次离子)
2 主要内容 l *第一节 电子束与材料的相互作用 散射、电子与固体作用产生的信号# 、 电子激发产生的其他现象(自学)、离 子束与材料的相互作用（散射、溅 射与二次离子）
1.0电子束与材料的相互作用之散 射 入射电子（又称为初始或一次电子）照 射固体时与固体中粒子的相互作用包 括： (1)入射电子的散射；与光子散射不同 (2)入射电子对固体的激发； (3)受激发粒子在固体中的传播
3 1.0 电子束与材料的相互作用 之散 射 入射电子（又称为初始或一次电子）照 射固体时与固体中粒子的相互作用包 括： （1）入射电子的散射；与光子散射不同 （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播
1.0散射 在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生 改变，这种现象称为（电子)散射。有弹性散射和 非弹性散射之分。 图3-1电子散射示意图 (a)与原子核作用； 26 (b)与核外电子作用 [e
4 1.0 散射 l 在固体原子的库仑电场作用下，入射电子方向将发生 改变，这种现象称为（电子）散射。 有弹性散射和 非弹性散射之分。 图3-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用； （b）与核外电子作用
1.0.1原子核对入射电子的散射 散射损失的能量 D-2.17'10in'g A 散射角(2口)即散射电子运动方向与入射方向之间的夹 角。 I以100keV的电子为例： Q小角度散射(2口<5)，电子的能量损失在10-3~10-eV 的范围； Q背散射电子(2口≈π/2)，能量损失达到几个eV 因此，原子核对电子的散射一般情况 下均可视为弹性散射
5 1.0.1 原子核对入射电子的散射 散射损失的能量 散射角（2 ）即散射电子运动方向与入射方向之间的夹 角。 l 以100 keV的电子为例： Q小角度散射(2 <5º)，电子的能量损失在10-3～10-l eV 的范围； Q背散射电子(2 ≈π/2)，能量损失达到几个eV l 因此，原子核对电子的散射一般情况 下均可视为弹性散射