接负高压. 联明源 阳极 一光阑劇 聚光镜 样品 物镜 物镜光阑 选区光阑 中间镜 投影镜 荧光屏或照相底片 {a) (b) 16
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第二节 透射电子显微镜工作原理及构 造 一、 工作原理 n成像原理与光学显微镜类似 n不同点: $ 光源:在于光学显微镜以可见光作照明束,透射 电子显微镜则以电子为照明束。 $成像介质:在光学显微镜中将可见光聚焦成像的 是玻璃透镜,在电子显微镜中为磁透镜。 $ 功能:透射电镜在具有高的像分辨本领的同时兼 有结构分析的功能
17 第二节 透射电子显微镜工作原理及构 造 一、工作原理 n 成像原理与光学显微镜类似 n 不同点: $ 光源:在于光学显微镜以可见光作照明束,透射 电子显微镜则以电子为照明束。 $ 成像介质:在光学显微镜中将可见光聚焦成像的 是玻璃透镜,在电子显微镜中为磁透镜。 $ 功能:透射电镜在具有高的像分辨本领的同时兼 有结构分析的功能
灯(光源) L 电子源 以知 聚光镜 ☒ 电磁透镜 ☒ 斌样 试样 偏转线圈0 0 物镜 ☒☒物镜 扫描 二次电子检测器 试样 投影镜 ☒ ☒ 投影透镜 荧光屏 屏幕 象 CRT荧光屏阴极射线管 (透射形)光学显微镜透射电子显微镜(TEM) 扫描电子显微镜(SEM) 光学显微镜与电子显微镜比较 200nm 0.1nm 0.5nm
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第一节电子波与电磁透镜 、光学显微镜的分辨率 由衍射效应所限定的分辨率在理论上可由瑞利(Rayleigh) 公式计算,即 0.61入 物镜 △ro N sin a 试样 式中,△[为成像物体(试样)上能分辨出来的两个物点间的最 小距离,表示分辨率的大小,△越小,透镜分辨率越高; N为介质的相对折射系数;α为透镜的孔径半角
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0.612 M 0.612 △r含义 Ro= N sina △= Ro M N sin a S 物面 物镜 像面 Airy斑 a) (b) 两个电光源成像时形成的Airy斑 (a)Airy斑:(b)两个Airy斑靠近到刚好能分得开的监界距离时强度的叠加 20
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