第三章电子显微分析之二 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜 (SEM)工作原理及构造 第二节 像衬原理与应用 第三节电子探针X射线显微分析(EPMA) 参考书目： o周维列，王中林主编，扫描电子显微镜学及在纳米技 术中的应用，北京-高等教育出版社2007.3 o戈尔茨坦/（美）等著，扫描电子显微技术与X射线显微 分析，北京-科学出版社，1988.08 6-4-5、6节，必带教材、实验指导书、直尺和计算器，选 带计算机
1 第三章 电子显微分析 之二 扫描电子显微分析与电子探针 第一节 扫描电子显微镜（SEM）工作原理及构造 第二节 像衬原理与应用 第三节 电子探针X射线显微分析（EPMA） 参考书目： o周维列，王中林主编，扫描电子显微镜学及在纳米技 术中的应用， 北京-高等教育出版社 2007.3 o戈尔茨坦/(美)等著，扫描电子显微技术与X射线显微 分析，北京-科学出版社，1988.08 6-4-5、6节，必带教材、实验指导书、直尺和计算器，选 带计算机
教学目的与要求 0 理解扫描电子显微镜的工作原理与仪器构造； 0 掌握二次电子像与背散射电子像的像衬原理， 并利用该原理学会分析材料形貌的方法； 0 理解电子探针X射线显微分析的原理，并学会材 料成分分析的技巧。 2
2 教学目的与要求 o 理解扫描电子显微镜的工作原理与仪器构造； o 掌握二次电子像与背散射电子像的像衬原理， 并利用该原理学会分析材料形貌的方法； o 理解电子探针X射线显微分析的原理，并学会材 料成分分析的技巧
SEM 电子枪 ☒ ☒ 显象管 扫描 线圈 鼺 ☒ 放大 扫描 变换 发生器 样品 信号 信号放大 探测器 和处理 真空系统
3 SEM
灯丝 扫描电路 的]阴极 电子枪 锤极 聚镜光阑 视频 ☒。 ☒ 聚镜 放大器 ☑ ☑ 阳极 扫描线圈 D1 D2 0起描线圈 D2 D1 000 000 00 镜光 ☒ ☒ 闪烁体 集极 光电倍增管 光导管 二次电子 样品 样品座 荧光屏 显象管 -1 mm 镜简 100mm
4 D1 D1 D2 D2
SEM 实现从SEM现察到巨DX分新一体化 岛津扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscope SSX-550 XL30 ESEM
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