电子显微分析方法的种类 m 透射电子显微镜(TEM) m Transmission electron microscopy m 扫描电子显微镜(SEM) m Scanning electron microscope m 电子探针X射线显微分析仪(EPA或 EPMA) m 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
6 电子显微分析方法的种类 m 透射电子显微镜(TEM) m Transmission electron microscopy m 扫描电子显微镜(SEM) m Scanning electron microscope m 电子探针X射线显微分析仪 (EPA或 EPMA) m 电子激发俄歇电子能谱(XAES或AES)
透射电子显微镜(TE)的形式 高分辨电镜(HRTEM) 透射扫描电镜（STEM) 分析型电镜（AEM)等等。 n入射电子束（照明束)也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射
7 高分辨电镜（HRTEM） 透射扫描电镜（STEM） 分析型电镜（AEM）等等。 n 入射电子束（照明束）也有两种主要形式： 平行束：透射电镜成像及衍射 会聚束：扫描透射电镜成像、微分析及微 衍射。 透射电子显微镜(TEM) 的形式
◆ Basic features of A Modern TEM 电子枪 82 试样架 EDS探测器 镜简 扫描像观察装置 观察室 操作面板 照相室 扫描像照相机 EELS探测器 8
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制面示意图 1一高压电规 2一电子枪 2一阳极 照明系统 ☒区 4一束流偏转线图 ☒☒ 5谈聚光镜 学材料科学 X六Y8一电题销转线圈 9一物镜光阀 10 10一物镜消像收线圈 1一物镜 成像系镜 12一选区光阑 恩 13一第一中间镜 14一第二中间镜 153 ☒☒ 15一第三中问镜 16一高分辨行射室 17一光学总微镜 南 18一观察窗 19荧光异 20—一发片盒 21一收片盒 22一照相室 22
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电子枪室 15t/s SIP 电子枪 加速管 加速管 605 SIP 中间室 20/s SIP 阀门1 侧角仪 样品室 样品台→ 物镜光阑 150/s SIP 物镜 选区光阑+口 中间镜 投影镜 阀门2 双目光学显微镜→怎 观察室 观察窗口 小荧光屏 大荧光屏 照相室 照相室 420/5 DP (a) (b) 图9.4JEM-2010型透射电子显微镜镜筒结构剖面图()与真空系统配置图(b) 10
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