电子衍射 1
1 电子衍射
晶体中的电子衍射花样 多晶电子衍射花样的标定及其应 用 √多晶衍射花样的产生及几何特征 电子衍射基础理论 √多晶电子衍射花样的主要应用 单晶电子衍射花样的分析 电子衍射与X射线衍射 √I 的比较 单晶电子衍射花样的几何特征 衍射产生的条件 和强度 电子衍射几何分析公 单晶电子衍射花样的标定方法 式及相机常数 单晶电子衍射花样的应用 选区电子衍射的原理 复杂电子衍射花样的特征和识别 及操作 √超点阵斑点 √孪晶衍射花样 高阶劳厄区斑点 √二次衍射斑点 菊池衍射花样 2
电子衍射基础理论 晶体中的电子衍射花样 电子衍射与X射线衍射 的比较 衍射产生的条件 电子衍射几何分析公 式及相机常数 选区电子衍射的原理 及操作 多晶电子衍射花样的标定及其应 用 多晶衍射花样的产生及几何特征 多晶电子衍射花样的主要应用 单晶电子衍射花样的分析 单晶电子衍射花样的几何特征 和强度 单晶电子衍射花样的标定方法 单晶电子衍射花样的应用 复杂电子衍射花样的特征和识别 超点阵斑点 孪晶衍射花样 高阶劳厄区斑点 二次衍射斑点 菊池衍射花样 2
电子衍射 电子入射试样后激发的信号 SEM EBSD 入射电子 二次电子 (Electron 背散射电子 backscattered 特征X- diffraction) Auger ray Visible electrons Light 'Absorbed' Electron-hole electrons pairs Bremsstrahlung Specimen X-rays Diffraction 弹性电 非弹性电 TKD pattern 子散射 透射电子 子散射 (Transmission Kikuchi diffraction) 3 TEM
SEM TEM EBSD (Electron backscattered diffraction) Diffraction pattern TKD (Transmission Kikuchi diffraction) 电子衍射 电子入射试样后激发的信号 弹性电 子散射 非弹性电 子散射 特征Xray 二次电子 背散射电子 透射电子 入射电子 3
TEM成像模式 Electron beam Objective lens ·调节中间镜电流使中间镜物平面上下 Objective aperture (back focal plane) Fixed (diffraction pattern) 移动 SAD aperture Intermediate image1 成像-中间镜物平面和物镜像平面重合 Strength ntermediate change lens 样品形貌像，如晶粒形状与大小， Intermediate Intermediate diffraction image 2 析出相形态与分布等 pattern Projector lens Fixed 衍射中间镜物平面与物镜背焦面重合 strength ww.globalsino.com/EM/ Diffraction Final 晶体样品衍射花样，晶体结构信息 Screen pattemn image (a) b 4
4 TEM成像模式 • 调节中间镜电流使中间镜物平面上下 移动 成像-中间镜物平面和物镜像平面重合 样品形貌像，如晶粒形状与大小， 析出相形态与分布等 衍射-中间镜物平面与物镜背焦面重合 晶体样品衍射花样，晶体结构信息
电子衍射 电子衍射花样的分析包括两个方面： (1)衍射几何：电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点 的位置； (2)射强度：即电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑 点的强度。 单从衍射几何方面的分析就可获得大量的晶体学信息，重 点讨论这一内容，对衍射强度分析只加粗略讨论。 200 220 020 B=[001] 5
电子衍射 电子衍射花样的分析包括两个方面： （1）衍射几何：电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑点 的位置； （2）衍射强度：即电子束经晶体散射后所产生的干涉线或斑 点的强度。 单从衍射几何方面的分析就可获得大量的晶体学信息，重 点讨论这一内容，对衍射强度分析只加粗略讨论。 5 5 5