扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscopy S-34005.00kV5.7mmx20.0kSE 200um
扫描电子显微镜 Scanning Electron Microscopy 1
扫描电镜-SEM 。电子显微概述 。扫描电镜工作原理和构造 。扫描电镜像衬原理及应用 世 。影响SEM图像质量的因素 2
电子显微概述 扫描电镜工作原理和构造 扫描电镜像衬原理及应用 影响SEM图像质量的因素 扫描电镜-SEM 2
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Frequency in Wavelength cycles per second in nm 106- m Gamma rays 400- 1020- Violet One angstrom 10 450 Indigo One nanometer Blue X-rays 500- Ultravioler Green 105 One micrometer Visible Light Infrared 600 Yellow Orange s子 One centimeter 00 Red 1010- Short radio waves One meter Short radio waves 109 750 Broadcast band One kilometer 105 Visible Light:~6000 A 10 Long radio waves X-rays: λ0.5-2.5A Electrons: 10.05A
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电子束与固态样品相互作用 SEM Incident high-kV beam Secondary electrons (SE) Backscattered electrons (BSE) Characteristic X-rays EDS/WDS Auger Visible electrons Light Absorbed' Electron-hole electrons pairs Bremsstrahlung Specimen X-rays Elastically Inelastically scattered Direct scattered electrons Beam electrons 5 TEM
5 EDS/WDS SEM 电子束与固态样品相互作用 TEM