二、长度及线位移检测 2、光学干涉(Interference) 干涉原理（单频干涉）： 两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取 决于两束光间的相位差△Φ 亮条： △Φ=2kT,=0,1,1,2,. 相长干涉 暗条： △Φ=2k,=0,1,1,2, 相消干涉
二、长度及线位移检测 2、光学干涉（Interference） 干涉原理（单频干涉）： 两束同频光束在空间相遇会发生干涉条纹，其亮暗程度取 决于两束光间的相位差Δφ 亮条： 暗条： Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相消干涉 Δφ=2kπ, k=0,1,l,2,… 相长干涉
二、长度及线位移检测 结构： 观察屏、 光电接收 光E 固定 反射镜 半透半反镜 被测物体 实现要点：(1)单一光源(2)被测物体(3)光电接收 (4)分光镜（半透半反）(5) 固定参考反射镜
二、长度及线位移检测 结构： 实现要点:（1）单一光源 光 源 观察屏、 光电接收 固定 反射镜 被测物体 半透半反镜 （4）分光镜（半透半反）（5）固定参考反射镜 （2）被测物体 （3）光电接收