二、 长度及线位移检测 .24 (a)变气隙式 (b)变面积式 (c)螺管式 图3-5差分式自感传感器 1.2.线圈3.铁心或磁性套簡4.衔铁
二、长度及线位移检测 (2) 变面积式 (3) 螺管式 蔡萍教材P40 图3-5
二、长度及线位移检测 电感位移传感器 意大利Marposs: nnn
二、长度及线位移检测 电感位移传感器 意大利Marposs:
二、长度及线位移检测 电感位移传感器 中国中原量仪：
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二、长度及线位移检测 2、光栅位移传感器(Grating)
二、长度及线位移检测 2、光栅位移传感器（Grating）
二、长度及线位移检测 ()光栅传感器原理（莫尔条纹） 构成：主光栅-标尺光栅，定光栅； 指示光栅-动光栅 主光栅 指示光栅 叠合→夹角→移动→明暗相间条纹→莫尔条纹 W 条纹宽度： B= W栅距，-线宽，b-缝宽 2sin0/2)0 W=a+b,a=b=W/2
二、长度及线位移检测 (1) 光栅传感器原理(莫尔条纹) 构成： 叠合 主光栅 指示光栅 夹角 移动 明暗相间条纹 莫尔条纹 条纹宽度： = W W B 2sin( / 2) W-栅距，a-线宽，b-缝宽 W=a+b ，a=b=W/2 主光栅---标尺光栅，定光栅； 指示光栅---动光栅