现在呼吸系统疾病防治、生命科学研究和食品药品等领域的应用， 考核指标：气溶胶检出限<1ppb(精氨酸、乙酰胆碱；线性 范围>3个数量级；气溶胶自进样到信号响应时间≤3S;单个样 品数据处理识别时间≤10s;建立各类型气溶胶数据库≥4个；具 有高速数字化5个维度协同智能数据处理识别能力，具有特征分 子结构确证能力、防交叉感染的生物安全防护功能。项目完成时 通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间>3000小 时，技术就绪度不低于8级；至少应用于2个领域或行业。明确 发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 有关说明：该方向拟支持项目数1项/青年科学家项目3项。 青年科学家项目不受指南考核指标约束，可在研究内容范围内自 定技术路径、研究目标和考核指标，重在方法创新和探索研究。 1.5紫外一可见光高分辨率光谱仪 研究内容：针对紫外告警、光学跟踪、微光检测等测试需求， 突破高精度光谱分光、宽光谱扫描、高精度谱图标定等关键技术， 开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的紫外 一可见光高分辨率光谱仪，开发相关软件和数据库，开展工程化 开发、应用示范和产业化推广，实现在光学装备、光刻机等领域 的应用。 考核指标：光谱范围190-1100nm;光谱分辨率22×10nm (193nm上光谱精度0.1×103nm;最大光谱窗口≤0.8nm;最低 -519
首都医科大学 A00089 — 519 — 现在呼吸系统疾病防治、生命科学研究和食品药品等领域的应用。 考核指标：气溶胶检出限≤1ppb（精氨酸、乙酰胆碱）；线性 范围≥3 个数量级；气溶胶自进样到信号响应时间≤3s；单个样 品数据处理识别时间≤10s；建立各类型气溶胶数据库≥4 个；具 有高速数字化 5 个维度协同智能数据处理识别能力，具有特征分 子结构确证能力、防交叉感染的生物安全防护功能。项目完成时 通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小 时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确 发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有自主知识产 权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用要求。 有关说明：该方向拟支持项目数 1 项/青年科学家项目 3 项。 青年科学家项目不受指南考核指标约束，可在研究内容范围内自 定技术路径、研究目标和考核指标，重在方法创新和探索研究。 1.5 紫外—可见光高分辨率光谱仪 研究内容：针对紫外告警、光学跟踪、微光检测等测试需求， 突破高精度光谱分光、宽光谱扫描、高精度谱图标定等关键技术， 开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的紫外 —可见光高分辨率光谱仪，开发相关软件和数据库，开展工程化 开发、应用示范和产业化推广，实现在光学装备、光刻机等领域 的应用。考核指标：光谱范围 190~1100nm；光谱分辨率 22×10-6nm （193nm）；光谱精度≤0.1×10-3nm；最大光谱窗口≤0.8nm；最低
可探测脉冲能量《10小。项目完成时通过可靠性测试和第三方异 地测试，平均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于8级： 至少应用于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权 等知识产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用 户试用，满足用户使用要求。 1.6扫描式光场辐射度计 研究内容：针对发光材料及器件、照明与显示设备、红外辐 射源等对光辐射性能定量检测的需求，突破发光体光色同步测量 与校准、辐射光场分布测量与校准等关键技术，开发具有自主知 识产权，质量稳定可靠，核心部件国产化的扫描式光场辐射度计， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现在照明显示、交通运输和文物保护等领域的应用 考核指标：波长范围380-1100nm;光谱分辨率≤1nm;亮度 测量精度≤±3%，色坐标测量精度≤0.002（标准A光源方发光 强度测量误差≤2%；成像测量分辨率≥8000万像素；成像发光 面直径≤600mm;扫描角度定位精度≤0.05；全空间测量与重建 时间≤10分钟。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障问隔时问>3000小时，技术就绪度不低于8级：至少应 用于2个领城或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.7紫外光电子谱分析仪 -520-
首都医科大学 A00089 — 520 — 可探测脉冲能量≤10μJ。项目完成时通过可靠性测试和第三方异 地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级； 至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权 等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用 户试用，满足用户使用要求。 1.6 扫描式光场辐射度计 研究内容：针对发光材料及器件、照明与显示设备、红外辐 射源等对光辐射性能定量检测的需求，突破发光体光色同步测量 与校准、辐射光场分布测量与校准等关键技术，开发具有自主知 识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的扫描式光场辐射度计， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现在照明显示、交通运输和文物保护等领域的应用。 考核指标：波长范围 380~1100nm；光谱分辨率≤1nm；亮度 测量精度≤±3%，色坐标测量精度≤0.002（标准 A 光源）；发光 强度测量误差≤2%；成像测量分辨率≥8000 万像素；成像发光 面直径≤600mm；扫描角度定位精度≤0.05°；全空间测量与重建 时间≤10 分钟。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应 用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.7 紫外光电子谱分析仪
研究内容：针对材料紫外光电子发射特性和半导体表面电子 结构表征等检测需求，突破真空紫外光源、真空紫外单色仪、真 空紫外光电探测器等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳 定可靠、核心部件国产化的紫外光电子谱分析仪，开发相关软件 和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在宇 航级材料和半导体材料等领域的应用。 考核指标：波长范围115-400nm;光源功率≥100W;单色仪 波长分辨率≤0.1nm；收集增益≥10；发射产额测试范围 10610'elph;表面分析能量范围3.2-10eV;表面分析能量分辨 率≤0.01eV.项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于8级；至少应用 于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.8多自由度非接触三维光学扫描仪 研究内容：针对狭小腔体、狭长管体和叶片状零件等检测需 求，突破三维非接触光学旋转扫描仪整机误差补偿、基于场景定 位的自动路径规划方法、适用于狭小腔体类零部件检测的复合高 精度三维扫描成像探测等关健技术，开发具有自主知识产权、质 量稳定可靠、核心部件国产化的三维非接触光学旋转扫描仪，并 实现在校准实验室、航空航天、国防工业和汽车工业等领城的应 用验证。 -521-
首都医科大学 A00089 — 521 — 研究内容：针对材料紫外光电子发射特性和半导体表面电子 结构表征等检测需求，突破真空紫外光源、真空紫外单色仪、真 空紫外光电探测器等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳 定可靠、核心部件国产化的紫外光电子谱分析仪，开发相关软件 和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在宇 航级材料和半导体材料等领域的应用。 考核指标：波长范围 115~400nm；光源功率≥100W；单色仪 波长分辨率≤0.1nm；收集增益≥106；发射产额测试范围 10-6~10-1el/ph；表面分析能量范围 3.2~10eV；表面分析能量分辨 率≤0.01eV。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平 均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用 于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产 权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.8 多自由度非接触三维光学扫描仪 研究内容：针对狭小腔体、狭长管体和叶片状零件等检测需 求，突破三维非接触光学旋转扫描仪整机误差补偿、基于场景定 位的自动路径规划方法、适用于狭小腔体类零部件检测的复合高 精度三维扫描成像探测等关键技术，开发具有自主知识产权、质 量稳定可靠、核心部件国产化的三维非接触光学旋转扫描仪，并 实现在校准实验室、航空航天、国防工业和汽车工业等领域的应 用验证
考核指标：最大空间工作范围>1800mm(直径)，狭小腔体 直径范围8~30mm,深度≤120mm,空间测量精度<30μm;复合 高精度三维扫描测头测量范图>5mm,测头转速>600RPM,测 量重复性≤1um,采样频率≥2kHz,轴向分辨率≤0.5um,侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间>≥3000小时，技术就绪废不低于8级；至少应 用于2个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线账和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空问下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领减的应用， 考核指标：工作距离10-600mm;微探头尺寸≤ p6mm×14mm;激光光源的频率调制幅度≥1GHz,调制带宽≥ 5MHz,激光光源中心频率精度≤5×108：测量速度≥1.5m/s,位 移分辨力≤0.05nm,位移解调误差补偿精度<0.4nm;测量标准 -522-
首都医科大学 A00089 — 522 — 考核指标：最大空间工作范围≥1800mm（直径），狭小腔体 直径范围 8~30mm，深度≤120mm，空间测量精度≤30μm；复合 高精度三维扫描测头测量范围≥5mm，测头转速≥600RPM，测 量重复性≤1μm，采样频率≥2kHz，轴向分辨率≤0.5μm，侧向 分辨率≤15μm。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试， 平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应 用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识 产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用， 满足用户使用要求。 1.9 微探头传感器式激光干涉仪 研究内容：针对材料热线胀和压电效应测试表征、结构体微 应变微振动监测分析、微纳传感器标定测试、高端装备超精密运 动特性测试检定等狭小空间下大量程、高精度位移测量需求，突 破毫米级微光学测头设计与多自由度精准装配、大幅度高带宽调 频激光的精密稳频、高速位移的深亚纳米级分辨、位移解调误差 实时修正等等关键技术，开发相关软件和数据库，开展工程化开 发、应用示范和产业化推广，实现在精密传感器计量测试、新材 料科学研究、高端装备集成校准等领域的应用。 考 核 指 标 ： 工 作 距 离 10~600mm ； 微 探 头 尺 寸 ≤ φ6mm×14mm；激光光源的频率调制幅度≥1GHz，调制带宽≥ 5MHz，激光光源中心频率精度≤5×10-8；测量速度≥1.5m/s，位 移分辨力≤0.05nm，位移解调误差补偿精度≤0.4nm；测量标准
不确定度≤1.6nm(40mm)。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥3000小时，技术就绪度不低于 8级；至少应用于2个领城或行业。明确发明专利、标准和软件 著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经用户试用，满足用户使用要求。 1.10光电集成电路及器件参数综合测试仪 研究内容：针对集成硅光芯片、激光器、探测器、光纤无源 器件等光电器件测试需求，突破复杂网络多参数自动测量与提取、 网络参数误差校准、自动多模式化集散控制、高精密自动位移测 量台等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心 部件国产化的集成硅光在片综合参数测试仪，开发相关软件和数 据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在集成光 电子器件、高速光纤通信等领城的应用。 考核指标：测试中心波长1310nm±10nm和1550nm±10nm; 最小探测光功率≤-8OdBm;光输出功率动态范围>70dB:偏振损 耗测量范围≥30dB;测量频率范围>10MHz~110GHz;光电频率 响应动态范围≥30dB:最小可测频率响应≤40dB:最小分析中 频带宽<1kHz;测量电电测量、光电测量、电光测量、光光测量 等模式。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故 障问隔时问>3000小时，技术就绪度不低于8级；至少应用于2 个领域或行业。明确发明专利，标准和软件著作权等知识产权数 量，具有自主知识产权：形成批量生产能力，经用户试用，满足 -523-
首都医科大学 A00089 — 523 — 不确定度≤1.6nm（40mm）。项目完成时通过可靠性测试和第三 方异地测试，平均故障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件 著作权等知识产权数量，具有自主知识产权；形成批量生产能力， 经用户试用，满足用户使用要求。 1.10 光电集成电路及器件参数综合测试仪 研究内容：针对集成硅光芯片、激光器、探测器、光纤无源 器件等光电器件测试需求，突破复杂网络多参数自动测量与提取、 网络参数误差校准、自动多模式化集散控制、高精密自动位移测 量台等关键技术，开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心 部件国产化的集成硅光在片综合参数测试仪，开发相关软件和数 据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推广，实现在集成光 电子器件、高速光纤通信等领域的应用。 考核指标：测试中心波长 1310nm±10nm 和 1550nm±10nm； 最小探测光功率≤-80dBm；光输出功率动态范围≥70dB；偏振损 耗测量范围≥30dB；测量频率范围≥10MHz~110GHz；光电频率 响应动态范围≥30dB；最小可测频率响应≤-40dB；最小分析中 频带宽≤1kHz；测量电电测量、光电测量、电光测量、光光测量 等模式。项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故 障间隔时间≥3000 小时，技术就绪度不低于 8 级；至少应用于 2 个领域或行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数 量，具有自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足