电气测试技术 第5章微型化和智能化传感器 第5章微型化和智能化传感器 5.1概述 5.2微型温度传感器 5.3硅压阻式微型压力传感器 5.4电容式微型传感器 5.5智能化变送器 州交通大学
电气测试技术 第5章微型化和智能化传威器 5,1桡述 ·随着微电子技术、微计算机技术和网络通信技术的发展，传感器也步 入了微型化和智能化的发展时代。 ·由于大规模和超大规模集成电路的发展，可将组成传感器的多个单元 集成在一块芯片上，包括检测元件、信号的调制、解调电路、信号放 大和转换电路、线性化处理、输入、输出电路和通信功能等模块集成 在一块或二块芯片上，从而极大地缩小了传感器的体积，为传感器的 微型化创造了条件。 微计算机（尤其是单片机）在传感器中的应用，利用其强大的控制与 信号处理能力，传感器的功能更加强大。例如，自动零点和增益校正、 贵接香盒腰醉子希配、监时 。 随着网络通信技术的发展，传感技术的发展已进入崭新的发展阶段。 各种现场总线在传感器中的应用，传感器已实现了网络化。 同菌州文通大￥
电气测试技术 第5章微型化和智幅化传威器 微型化与智能化传感器的特点 1.精度高 2.高可靠性与高稳定性 3.高信躁比与高分辨率 4.功能更强大 5.自适应能力强 6.体积小 7.性能价格比高 微型传感器与智能传感器是当前世界传感技术 发展的重要趋势。 回前州克通大￥
电气测试技术 第5章截型化和智候化传威器 5.2微型温度传藏器 5,2.1热释电温度传感器 5,2.2PN猪温度传感器 5,2.3集成(IC)温度传感器 5,2.4石英振子温度传感器 5,2.5微型温度传感器应用实例 回前州克通大￥
电气测试技术 第5章微型化和智“化传威器 5,2.1热释电温度传感器 ·热释电晶体具有自发的电极化能力，电极化强度与温度有 关，晶体的这种性质称为热释电效应。 交变红外光 图5-1热释电温度传感器原理 a)热释电效应b)等效电路c)极化强度与温度的关系 同菌州文通大￥