若电容器极板间距δ因被测量变化而变化△⑧ 时,则有 es s ES△6 △ △C= 6-△dδδ-△δ -△ 原理非线性,实际中作成差动式来改变其非线性 一般变极板间距离电容式传感器的起始电 容在20~100pF之间,极板间距离在25~200μum 的范围内,最大位移应小于间距的1/10,故在微 位移测量中应用最广
若电容器极板间距 因被测量变化而变化 时,则有 0 S S S C C = − = = − − − 原理非线性,实际中作成差动式来改变其非线性 一般变极板间距离电容式传感器的起始电 容在 20~100pF之间, 极板间距离在25~200μm 的范围内, 最大位移应小于间距的1/10, 故在微 位移测量中应用最广
2.变面积型电容式传感器 圆柱形电容器的电容量2l In(r/r) 当两圆筒相对移动M时,电容变化量为 △C= 276127E(l-△) 2兀El △Z In(r/r) 具有良好线性
2. 变面积型电容式传感器 圆柱形电容器的电容量 2 1 2 ln( / ) l C r r = 当两圆筒相对移动 l 时,电容变化量为 2 1 2 1 2 2 ( ) ln( / ) ln( / ) l l l C r r r r − = − 2 1 2 ln( / ) l r r = 0 l C l = 具有良好线性
3变介电常数型电容式传感器 变介质型电容传感器有较多的结构型式,可以 用来测量纸张#,绝缘薄膜等的厚度,也可用来测量 粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿 度
变介质型电容传感器有较多的结构型式, 可以 用来测量纸张#, 绝缘薄膜等的厚度, 也可用来测量 粮食、纺织品、木材或煤等非导电固体介质的湿 度。 3. 变介电常数型电容式传感器
3变介电常数型电容式传感器 根据各种介质的介电常数不同,检测液面高度 D 同心圆柱状极板,插入液体 深度h,两极板间构成电容 式传感器(并联) c=ciCv 2rc,h 2TE(H-h D D n
3. 变介电常数型电容式传感器 根据各种介质的介电常数不同,检测液面高度 同心圆柱状极板,插入液体 深度h,两极板间构成电容 式传感器(并联) 1 2 c c c = + 1 2 2 ( ) ln ln h H h D D d d − = +
2a, 2nh(G-8) D 2(E-8).h co 此变换器的电容增量正比于被测液位高度h
d D h d D H ln 2 ( ) ln 2 1 − = + d D h c ln 2 ( ) 1 0 − = + 此变换器的电容增量正比于被测液位高度h