摩擦学硏究的进展与趋势 、引言 摩擦学是一门与机械表面界面科学密切相关的学科,它主要研究相对运动表面之间 的摩擦、磨损和润滑规律及其控制技术。它涉及传统机楲加工、交通运输、航空航天、海 洋、化工、生物工程等诸多工业领域。统计资料显示,摩擦消耗掉全世界约13的一次能 源,磨损致使大约60%的机器零部件失效,而且50%以上的机械裝备恶性事故都起源于 润滑失效或过度磨损。欧美发达国家每年因摩擦、磨损造成的经济损失占其国民生产总 值(GNP)的2%~7%,而在工业生产中应用摩擦学知识和研究成果可以节约的费用占 GNP的1.0%~1.4%m。我国已经成为制造大国,但远不是制造强国,在生产与制造过 程中对资源和能源的浪费严重,单位国内生产总值(GDP)能耗约为日本的8倍,欧盟的 4倍,世界平均水平的22倍,若按GDP的5%计算,2014年我国摩擦、磨损造成的损失 达31800亿元,因此,开发和应用先进摩擦与润滑技术实现能源与资源节约的潜力巨大。 另外,机械产品中的摩擦界面除了起到传递运动和能量的作用,还可具备防腐、减阻、吸 声等特殊功能,对机楲系统的效率、精度、可靠性和寿命等性能具有重要的甚至是决定性 的作用。摩擦学理论与技术可用于改善机械系统工作效率、延长使用寿命、减少事故发 生,为解决人类社会发展面临的能源短缺、资源枯竭、环境污染和健康冋题提供有效的解 决方案。 人类很早就在生活和生产实践中应用摩擦与润滑技术,而对摩擦规律的科学探索也已 有数百年的历史(2。早在15世纪,意大利的列奧纳多·达·芬奇就开始对摩擦学理论进 行探索,1785年法国摩擦学及物理学家库仑提岀干摩擦的机楲啮合理论,英囯的鲍登等 人于1950年提出了黏着摩擦理论。关于润滑,英国人雷诺于1886年根据前人观察到的流 体动压现象,总结出流体动压润滑的基本理论,其后相继发展出了边界润滑(1921年)
3 摩擦学研究的进展与趋势 一、引言 摩擦学是一门与机械表面界面科学密切相关的学科，它主要研究相对运动表面之间 的摩擦、磨损和润滑规律及其控制技术。它涉及传统机械加工、交通运输、航空航天、海 洋、化工、生物工程等诸多工业领域。统计资料显示，摩擦消耗掉全世界约 1/3 的一次能 源，磨损致使大约 60% 的机器零部件失效，而且 50% 以上的机械装备恶性事故都起源于 润滑失效或过度磨损。欧美发达国家每年因摩擦、磨损造成的经济损失占其国民生产总 值（GNP）的 2% ～ 7%，而在工业生产中应用摩擦学知识和研究成果可以节约的费用占 GNP 的 1.0% ～ 1.4%［1］。我国已经成为制造大国，但远不是制造强国，在生产与制造过 程中对资源和能源的浪费严重，单位国内生产总值（GDP）能耗约为日本的 8 倍，欧盟的 4 倍，世界平均水平的 2.2 倍，若按 GDP 的 5% 计算，2014 年我国摩擦、磨损造成的损失 达 31800 亿元，因此，开发和应用先进摩擦与润滑技术实现能源与资源节约的潜力巨大。 另外，机械产品中的摩擦界面除了起到传递运动和能量的作用，还可具备防腐、减阻、吸 声等特殊功能，对机械系统的效率、精度、可靠性和寿命等性能具有重要的甚至是决定性 的作用。摩擦学理论与技术可用于改善机械系统工作效率、延长使用寿命、减少事故发 生，为解决人类社会发展面临的能源短缺、资源枯竭、环境污染和健康问题提供有效的解 决方案。 人类很早就在生活和生产实践中应用摩擦与润滑技术，而对摩擦规律的科学探索也已 有数百年的历史［2］。早在 15 世纪，意大利的列奥纳多·达·芬奇就开始对摩擦学理论进 行探索，1785 年法国摩擦学及物理学家库仑提出干摩擦的机械啮合理论，英国的鲍登等 人于 1950 年提出了黏着摩擦理论。关于润滑，英国人雷诺于 1886 年根据前人观察到的流 体动压现象，总结出流体动压润滑的基本理论，其后相继发展出了边界润滑（1921 年）
>2014—2015机械工程学科发展报告(摩擦学 弹性流体动力润滑(1949年)和薄膜润滑(1990年)理论。鉴于摩擦、磨损与润滑的硏 究进展和在工业中的广泛应用及重要地位,1966年英国的H. Peter Jost首次提出“摩擦学” 这一术语,将其定义为“研究相对运动表面间的摩擦、润滑和磨损,以及三者间相互关系 的理论与应用的一门边缘学科”。对摩擦的研究主要是揭示摩擦力的起源及其能量耗散规 律等基本的物理过程及机理。对材料磨损的硏究旨在揭示材料去除机制以及影响因素,进 而建立物理模型和数学描述,以及寻求润滑、表面处理等技术,以减少摩擦和控制磨损 对国民经济的发展具有重要意义。润滑是降低摩擦、减少或避免磨损的必要手段。研制和 正确使用润滑剂和润滑技术是大幅度提高机械效率、保证机械长期可靠地工作、节约能源 的最主要技术途径。为了生态环境的可持续发展,近年来摩擦学研究紧跟时代需要,以绿 色、高效、多功能作为润滑技术的发展新方向。随着研究从宏观向微观领域的不断深入, 表面效应和界面效应愈来愈突出,一方面为摩擦学基础理论和技术问题的突破提供了导向 作用,另一方面又催生出更为宽广的一个新的研究领域——机械表面界面科学。 随着我国从制造大国向制造强国的发展目标迈进,摩擦学专门知识对相关技术的指 导作用及其重要性愈加凸显。随着我国产业升级的发展,制造业、航空航天、地面交通运 输、能源、海洋、生物与仿生等不同工业领域对摩擦学技术提出了大量的迫切需求。特别 地,近年来,我国政府部门和科技界十分重视工业基础,即关键基础材料、核心基础零部 件/元器件、先进基础工艺和产业技术基础(简称“四基”)等能力薄弱的问题。2014年 1月,工业和信息化部向中国工程院发出“关于委托开展工业强基战略研究的函”,指出 基础能力不强是制约工业由大变强的主要瓶颈。摩擦学基础理论和技术的研究与“四基” 密切相关,比如轴承、齿轮、螺栓、密封件、刹车片等基础零部件虽然看似简单,但是 对其摩擦学机理及材料和生产技术的研究匮乏,严重制约了我国高端装备的升级换代与 性能提升。针对各行业对摩擦学需求的迅猛发展,本报告主要概述了近5年我国在摩擦 磨损与润滑基础理论研究以及在不同工业领域应用中取得的创新性和突破性研究进展, 通过对国内外研究进展进行对比,对今后摩擦学基础理论和应用技术的研究趋势进行了 展望 二、近年最新研究进展 (一)摩擦学基础理论 1.摩擦机理及控制 摩擦的起源与能量耗散杋制及其控制一直是摩擦学基础硏究的核心科学问题。黏着摩 擦理论认为摩擦力来自表面间微观真实接触处的黏着点或表面膜的剪切应力,摩擦二项式 中提出摩擦力由表面间机械作用和分子间作用力组成。从原子分子尺度来看,摩擦力主要 与摩擦界面在滑动过程中存在的能量积累和突然释放的非稳态过程相关,非稳态过程导致 原子振动并最终耗散为热。黏着和摩擦分别反映了接触界面发生相对运动时在法向和切向
4 2014— 2015 机械工程学科发展报告（摩擦学） 弹性流体动力润滑（1949 年）和薄膜润滑（1990 年）理论。鉴于摩擦、磨损与润滑的研 究进展和在工业中的广泛应用及重要地位，1966 年英国的 H. Peter Jost 首次提出“摩擦学” 这一术语，将其定义为“研究相对运动表面间的摩擦、润滑和磨损，以及三者间相互关系 的理论与应用的一门边缘学科”。对摩擦的研究主要是揭示摩擦力的起源及其能量耗散规 律等基本的物理过程及机理。对材料磨损的研究旨在揭示材料去除机制以及影响因素，进 而建立物理模型和数学描述，以及寻求润滑、表面处理等技术，以减少摩擦和控制磨损， 对国民经济的发展具有重要意义。润滑是降低摩擦、减少或避免磨损的必要手段。研制和 正确使用润滑剂和润滑技术是大幅度提高机械效率、保证机械长期可靠地工作、节约能源 的最主要技术途径。为了生态环境的可持续发展，近年来摩擦学研究紧跟时代需要，以绿 色、高效、多功能作为润滑技术的发展新方向。随着研究从宏观向微观领域的不断深入， 表面效应和界面效应愈来愈突出，一方面为摩擦学基础理论和技术问题的突破提供了导向 作用，另一方面又催生出更为宽广的一个新的研究领域——机械表面界面科学。 随着我国从制造大国向制造强国的发展目标迈进，摩擦学专门知识对相关技术的指 导作用及其重要性愈加凸显。随着我国产业升级的发展，制造业、航空航天、地面交通运 输、能源、海洋、生物与仿生等不同工业领域对摩擦学技术提出了大量的迫切需求。特别 地，近年来，我国政府部门和科技界十分重视工业基础，即关键基础材料、核心基础零部 件 / 元器件、先进基础工艺和产业技术基础（简称“四基”）等能力薄弱的问题。2014 年 1 月，工业和信息化部向中国工程院发出“关于委托开展工业强基战略研究的函”，指出 基础能力不强是制约工业由大变强的主要瓶颈。摩擦学基础理论和技术的研究与“四基” 密切相关，比如轴承、齿轮、螺栓、密封件、刹车片等基础零部件虽然看似简单，但是 对其摩擦学机理及材料和生产技术的研究匮乏，严重制约了我国高端装备的升级换代与 性能提升。针对各行业对摩擦学需求的迅猛发展，本报告主要概述了近 5 年我国在摩擦、 磨损与润滑基础理论研究以及在不同工业领域应用中取得的创新性和突破性研究进展， 通过对国内外研究进展进行对比，对今后摩擦学基础理论和应用技术的研究趋势进行了 展望。 二、近年最新研究进展 （一）摩擦学基础理论 1. 摩擦机理及控制 摩擦的起源与能量耗散机制及其控制一直是摩擦学基础研究的核心科学问题。黏着摩 擦理论认为摩擦力来自表面间微观真实接触处的黏着点或表面膜的剪切应力，摩擦二项式 中提出摩擦力由表面间机械作用和分子间作用力组成。从原子分子尺度来看，摩擦力主要 与摩擦界面在滑动过程中存在的能量积累和突然释放的非稳态过程相关，非稳态过程导致 原子振动并最终耗散为热。黏着和摩擦分别反映了接触界面发生相对运动时在法向和切向
综合报告 遇到的抗力。法向黏着迟滞与切向摩擦能量耗散往往存在着耦合关系。材料的摩擦学行为 是由摩擦副材料的跨尺度特性决定的,微观分子、原子尺度的接触和作用需要与宏观材料 的 结合,建立跨尺度多物理场模型,系统全面揭示宏观摩擦学现象与微观原子 分子尺度的表面界面作用的联系。微观界面的能量耗散最终导致了宏观摩擦中的热、力、 光、电磁辐射等现象。很多关于摩擦机理的研究都是围绕不同尺度下的摩擦表面之间的基 本行为和规律去展开的 (1)原子尺度摩擦和固体超滑机理 摩擦总是直接发生在两固体表面之间的原子、分子间的直接接触与分离过程中。常见 材料的摩擦通常伴随着磨损,导致固体表面的形貌异常变化,从而不容易开展分子原子量 级的摩擦机理的研究。为了对摩擦机理进行深入探讨,人们尽量寻找一些原子级光滑的表 面来进行研究,其中一些层状二维材料,如云母、石墨等是比较理想的选择 维层状材料是由二维材料(如单层石墨烯、MoS2、h-BN等)堆叠而成的材料体系 因其层间剪切强度低,可以作为良好的固体润滑材料。胡元中小组通过计算体系势能起伏 和任意滑移路径上的滑动能垒,获得了层间剪切强度,分别研究了石墨烯、氧化石墨烯 氟化石墨烯、MoS2层间摩擦机理。研究发现氧化石墨烯的静电吸引和氢键作用会导致较 大的层间摩擦力,而理想氟化石墨烯(化学计量比1:1)由于强电负性的氟原子之间具有 的静电排斥作用,从理论上可以获得层间较小的摩擦力3。此外,层间摩擦力并不取决 于界面电荷密度的绝对值,而是取决于滑动过程中的电荷密度涨落。当界面电荷呈现摩尔 纹形状分布时,滑动过程中电荷密度涨落显著降低,从而获得超滑状态卬。氟化非晶碳 基薄膜在高真空条件下摩擦过程中通常表现为瞬间磨损失效,迄今为止,这种磨损失效的 本质机制仍不清楚。王立平小组硏究表明高真空条件下塑性变形引起的接触界面间强黏着 是薄膜的主要失效机制。摩擦界面的C—一F键和C—C键对周围的应力场分布和化学环境 非常敏感,当施加应力或改变对偶材料的成键状态时,与摩擦密切相关的界面电荷分布发 生明显改变,导致界面C—F键和C—C键的键长和键能发生相应变化,从而影响界面的 稳定性和黏着相互作用5。 清华大学郑泉水小组、魏飞小组在厘米级石墨片间和双壁碳纳米管管壁之间(卷曲的 石墨烯层间)实现了超滑现象(6J。在研究中,他们制备了超长碳纳米管并用TO2纳米颗 粒进行标记和修饰,在光学显微镜和电子显微镜中分别进行了单根碳纳米管的操纵实验。 在光学显微镜下,用气流吹动碳纳米管,发现在气流的作用下双臂碳纳米管的内层被拔 出,气流减小后内层可以进行快速的回缩,这一实验结果预示了管壁之间可能存在超低的 摩擦力。进而在扫描电镜中,利用纳米硅悬臂对双壁碳纳米管内外层间摩擦力进行了精确 的测量,发现双壁碳纳米管内外层的层间摩擦力在纳米量级,摩擦力随着内层拔出长度没 有明显改变,并计算了内外层间的剪切强度在帕斯卡量级。与碳管或者石墨烯之间的固体 超滑类似,雒建斌小组将石墨烯涂到SiO2小球,然后与高取向石墨(HOPG)对摩,实现 了超滑(摩擦系数为0.002),胡元中小组和张俊彦小组分别都对类金刚石固体薄膜的超滑
综 合 报 告 5 遇到的抗力。法向黏着迟滞与切向摩擦能量耗散往往存在着耦合关系。材料的摩擦学行为 是由摩擦副材料的跨尺度特性决定的，微观分子、原子尺度的接触和作用需要与宏观材料 的力学特性结合，建立跨尺度多物理场模型，系统全面揭示宏观摩擦学现象与微观原子、 分子尺度的表面界面作用的联系。微观界面的能量耗散最终导致了宏观摩擦中的热、力、 光、电磁辐射等现象。很多关于摩擦机理的研究都是围绕不同尺度下的摩擦表面之间的基 本行为和规律去展开的。 （1）原子尺度摩擦和固体超滑机理 摩擦总是直接发生在两固体表面之间的原子、分子间的直接接触与分离过程中。常见 材料的摩擦通常伴随着磨损，导致固体表面的形貌异常变化，从而不容易开展分子原子量 级的摩擦机理的研究。为了对摩擦机理进行深入探讨，人们尽量寻找一些原子级光滑的表 面来进行研究，其中一些层状二维材料，如云母、石墨等是比较理想的选择。 二维层状材料是由二维材料（如单层石墨烯、MoS2、h-BN 等）堆叠而成的材料体系， 因其层间剪切强度低，可以作为良好的固体润滑材料。胡元中小组通过计算体系势能起伏 和任意滑移路径上的滑动能垒，获得了层间剪切强度，分别研究了石墨烯、氧化石墨烯、 氟化石墨烯、MoS2 层间摩擦机理。研究发现氧化石墨烯的静电吸引和氢键作用会导致较 大的层间摩擦力，而理想氟化石墨烯（化学计量比 1∶1）由于强电负性的氟原子之间具有 的静电排斥作用，从理论上可以获得层间较小的摩擦力［3］。此外，层间摩擦力并不取决 于界面电荷密度的绝对值，而是取决于滑动过程中的电荷密度涨落。当界面电荷呈现摩尔 纹形状分布时，滑动过程中电荷密度涨落显著降低，从而获得超滑状态［4］。氟化非晶碳 基薄膜在高真空条件下摩擦过程中通常表现为瞬间磨损失效，迄今为止，这种磨损失效的 本质机制仍不清楚。王立平小组研究表明高真空条件下塑性变形引起的接触界面间强黏着 是薄膜的主要失效机制。摩擦界面的 C— F 键和 C— C 键对周围的应力场分布和化学环境 非常敏感，当施加应力或改变对偶材料的成键状态时，与摩擦密切相关的界面电荷分布发 生明显改变，导致界面 C— F 键和 C— C 键的键长和键能发生相应变化，从而影响界面的 稳定性和黏着相互作用［5］。 清华大学郑泉水小组、魏飞小组在厘米级石墨片间和双壁碳纳米管管壁之间（卷曲的 石墨烯层间）实现了超滑现象［6］。在研究中，他们制备了超长碳纳米管并用 TiO2 纳米颗 粒进行标记和修饰，在光学显微镜和电子显微镜中分别进行了单根碳纳米管的操纵实验。 在光学显微镜下，用气流吹动碳纳米管，发现在气流的作用下双臂碳纳米管的内层被拔 出，气流减小后内层可以进行快速的回缩，这一实验结果预示了管壁之间可能存在超低的 摩擦力。进而在扫描电镜中，利用纳米硅悬臂对双壁碳纳米管内外层间摩擦力进行了精确 的测量，发现双壁碳纳米管内外层的层间摩擦力在纳米量级，摩擦力随着内层拔出长度没 有明显改变，并计算了内外层间的剪切强度在帕斯卡量级。与碳管或者石墨烯之间的固体 超滑类似，雒建斌小组将石墨烯涂到 SiO2 小球，然后与高取向石墨（HOPG）对摩，实现 了超滑（摩擦系数为 0.002），胡元中小组和张俊彦小组分别都对类金刚石固体薄膜的超滑
>2014—2015机械工程学科发展报告(摩擦学) 开展了理论和实验研究,丰富了对类金刚石剪切石墨化和表面钝化的超滑机理的理解。 (2)界面摩擦调控 摩擦现象无时无刻不存在于各种机械与人们日常生活中的相对运动表面之间。通常, 在确定摩擦与润滑材料之后,经过磨合,人们能得到一个相对稳定的摩擦系数。要对摩擦 力进行在线调控只能通过对法向载荷的调节来实现,而不能对摩擦系数进行调控。从材料 学角度来看,界面摩擦性能与两个接触界面之间相互作用强度有关,因此可以通过多种方 式控制两个接触界面之间相互作用强度,从而在一定程度上实现界面之间摩擦“主动”调 控。日前国内的研究人员在这方面已开展不少研究。 清华大学的孟永钢、田煜等人对摩擦的电磁场主动调控开展了长期研究,主要使用外 加电磁场强度控制微纳表面之间的电磁力作用强度,从而改变两相对运动表面之间的法向 和切向力作用强度。此外,通过控制导电摩擦副表面的电势来控制带电基团在固体表面的 吸附或脱附,从而改变固体表面的剪切强度,调控得到不同的边界润滑状态和摩擦系数。 除了深入研究基于水基润滑的电控摩擦机理,还针对有机溶剂和离子液体体系,使用不同 的离子液体(如1-辛基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐([OMM]BF4)、1-辛基-3-甲基咪 唑六氟磷酸盐([oMIM]PF6)和1-癸基-3-甲基咪唑六氟磷酸盐([DMm]PF6),溶 解在碳酸丙烯酯中,对钢材质的球-盘摩擦主动控制开展了硏究,得到了电势依賴的摩擦 磨损行为,并可通过吸附的离子种类和表面浓度来解释相关现象。 中国科学院兰州化学物理研究所的周峰等人通过对固体表面修饰或无机/有机复合将 些响应性官能团引入固体表面或基体之中构筑各种响应性表面,通过施加外界刺激来改 变固-液界面水化程度、微观形貌、化学组成、界面电荷等,实现固体表面润湿、黏附和 摩擦的调控。通过将离子型单体接枝到固体表面,改变其亲疏水性实现了固-固界面摩擦 电解质调控,摩擦系数可以从极低(~0001)到极高(~1)连续调控φ。将温度敏感 单体(如N-异丙基丙烯酰胺)、酸碱敏感单体(含羧基、氨基官能团等)引入固体表面 (或聚合物基体中),通过改变外界温度或环境pH值来改变特征官能团的水化程度从而实 现摩擦系数的温度和酸碱度调控。通过改变接枝聚合物(或凝胶表面)在不同溶剂中的溶 胀程度,或多元聚合物在不同溶剂之中重组可以实现固体表面溶剂调控0。据此原理 将两种或多种响应聚合物单体引人聚合物基体之中可以实现双刺激或多刺激敏感表面,实 现了摩擦系数的多重调控1 通过外界刺激来改变界面摩擦系数,使得人们在不接触界面前提下可依据人的意志来 改变界面的润滑性能。这些摩擦可控的界面在智能机械系统中有广阔的应用前景 (3)微纳结构的黏/脱附控制机理 当固体结构尺寸减小到微纳米尺度,尺寸越小,表面力对微纳结构的黏附与摩擦行为 的影响越大。随着纳米技术与纳米制造的发展,纳米摩擦学在微纳机电系统以及生物与仿 生技术中的作用越来越大。除了人们通过现代纳米制造技术制造微纳米结构外,研究发现 自然界的壁虎、蚂蚁、蜜蜂、苍蝇、蜘蛛和蜥蜴等动物或昆虫的强黏附和摩擦的控制能力
6 2014— 2015 机械工程学科发展报告（摩擦学） 开展了理论和实验研究，丰富了对类金刚石剪切石墨化和表面钝化的超滑机理的理解。 （2）界面摩擦调控 摩擦现象无时无刻不存在于各种机械与人们日常生活中的相对运动表面之间。通常， 在确定摩擦与润滑材料之后，经过磨合，人们能得到一个相对稳定的摩擦系数。要对摩擦 力进行在线调控只能通过对法向载荷的调节来实现，而不能对摩擦系数进行调控。从材料 学角度来看，界面摩擦性能与两个接触界面之间相互作用强度有关，因此可以通过多种方 式控制两个接触界面之间相互作用强度，从而在一定程度上实现界面之间摩擦“主动”调 控。目前国内的研究人员在这方面已开展不少研究。 清华大学的孟永钢、田煜等人对摩擦的电磁场主动调控开展了长期研究，主要使用外 加电磁场强度控制微纳表面之间的电磁力作用强度，从而改变两相对运动表面之间的法向 和切向力作用强度。此外，通过控制导电摩擦副表面的电势来控制带电基团在固体表面的 吸附或脱附，从而改变固体表面的剪切强度，调控得到不同的边界润滑状态和摩擦系数［7］。 除了深入研究基于水基润滑的电控摩擦机理，还针对有机溶剂和离子液体体系，使用不同 的离子液体（如 1- 辛基 -3- 甲基咪唑四氟硼酸盐（［OMIM］ BF 4）、1- 辛基 -3- 甲基咪 唑六氟磷酸盐（［OMIM］ PF 6）和 1- 癸基 -3- 甲基咪唑六氟磷酸盐（［DMIm］ PF 6），溶 解在碳酸丙烯酯中，对钢材质的球 - 盘摩擦主动控制开展了研究，得到了电势依赖的摩擦 磨损行为，并可通过吸附的离子种类和表面浓度来解释相关现象［8］。 中国科学院兰州化学物理研究所的周峰等人通过对固体表面修饰或无机 / 有机复合将 一些响应性官能团引入固体表面或基体之中构筑各种响应性表面，通过施加外界刺激来改 变固 - 液界面水化程度、微观形貌、化学组成、界面电荷等，实现固体表面润湿、黏附和 摩擦的调控。通过将离子型单体接枝到固体表面，改变其亲疏水性实现了固 - 固界面摩擦 电解质调控，摩擦系数可以从极低（～ 0.001）到极高（～ 1）连续调控［9］。将温度敏感 单体（如 N- 异丙基丙烯酰胺）、酸碱敏感单体（含羧基、氨基官能团等）引入固体表面 （或聚合物基体中），通过改变外界温度或环境 pH 值来改变特征官能团的水化程度从而实 现摩擦系数的温度和酸碱度调控。通过改变接枝聚合物（或凝胶表面）在不同溶剂中的溶 胀程度，或多元聚合物在不同溶剂之中重组可以实现固体表面溶剂调控［10］。据此原理， 将两种或多种响应聚合物单体引入聚合物基体之中可以实现双刺激或多刺激敏感表面，实 现了摩擦系数的多重调控［11］。 通过外界刺激来改变界面摩擦系数，使得人们在不接触界面前提下可依据人的意志来 改变界面的润滑性能。这些摩擦可控的界面在智能机械系统中有广阔的应用前景。 （3）微纳结构的黏 / 脱附控制机理 当固体结构尺寸减小到微纳米尺度，尺寸越小，表面力对微纳结构的黏附与摩擦行为 的影响越大。随着纳米技术与纳米制造的发展，纳米摩擦学在微纳机电系统以及生物与仿 生技术中的作用越来越大。除了人们通过现代纳米制造技术制造微纳米结构外，研究发现 自然界的壁虎、蚂蚁、蜜蜂、苍蝇、蜘蛛和蜥蜴等动物或昆虫的强黏附和摩擦的控制能力
综合报告 与它们足部的微纳米尺度的刚毛结构密切相关。与通常机械加工得到的粗糙表面可用球形 或者椭球等来近似描述微观的粗糙峰形状不同,在扫描电镜下观察壁虎脚趾刚毛的微观结 现其末端是纳米量级的铲状薄板结构。传统接触模型考虑的多为常见加工表面的粗糙 度,发展了考虑球/平面接触的 Johnson- Kendal- roberts(简称JKR)等模型,在这些模 型中主要考虑了不同表面之间作用势的分布情况,预测了脱附黏着力的大小,该力在不同 分离方向上是各向同性的。传统球/平面的接触模型不能解释生物体刚毛这样的各向异性 微纳结构的易脱附行为。 清华大学的田煜与国外合作,提出了同时考虑摩擦力和黏着力的薄板剥离模型 接触区域范德华力产生摩擦力,剥离区范德华力产生黏着力。壁虎通过脚趾卷λ和卷岀宏 观动作,和刚毛自身的弯曲结构,可调节对刚毛末端的铲状薄板结构的剥离角度。脚趾卷 入时对应小剥离角度和强黏着与摩擦,卷出时大剥离角度对应弱黏着与摩擦,从而可改变 摩擦力和黏着力三个数量级以上,实现强黏附和易脱附。这种分区域考虑微观黏着与摩擦 的模型也适用于其他微纳米结构的摩擦学行为的分析。根据黏着的剥离区域模型,提出了 通过调节表面背部基底刚度、倾斜微柱几何与力学参数去优化强黏附、易脱附性能的方 法,制备了末端带薄板结构的仿生表面,具有与天然壁虎刚毛类似的黏着与摩擦的各向异 性,并研制了可对平面结构进行垂直抓持与释放的夹持器原型,1。这些研究有助于深 入理解微纳米结构的黏着与摩擦来源及其耦合规律,并展示控制和利用微纳结构与表面间 的范德华力产生的黏着力的方法。 2材料磨损 对材料磨损的研究旨在揭示摩擦过程中的材料去除机制,以及寻求润滑和表面处理技 术控制摩擦和减少磨损。它对于国民经济的发展具有重要意义,不仅能够通过减摩降噪为 国家节约资源和能源,同时可为我国高端制造业的发展奠定技术基础。本小节着重介绍近 5年我国在材料磨损基础研究领域取得的重要进展,主要内容包括化学机械抛光( Chemical Mechanical polishing,C.MP)中的磨损、微观磨损、复合微动磨损、碳基薄膜磨损和载流磨 损5个方面。 (1)CMP抛光中的磨损 CMP是超大规模集成电路制造的关键工艺步骤之一,是同时实现晶圆局部及全局平 坦化的唯一手段。一直以来,超精密加工过程中产生的摩擦和磨损现象属于摩擦学研究领 域,同样,CMP过程中的材料去除机理也需要用摩擦与磨损理论解释。CMP受化学作用、 机械作用、热效应等各种因素的影响,过程极为复杂,到目前为止材料去除机理尚不完全 清楚。因此,对CMP过程中的摩擦、磨损与润滑现象进行研究,是揭示材料去除机理的 基础,也是提升CMP效率和质量的关键 清华大学雒建斌、路新春团队针对集成电路铜互连布线和新型阻挡层的CMP过程中 的润滑状态、摩擦化学行为和化学机械协同作用下的材料去除机理等关键问题开展了系统 研究,并取得了一定进展,具体包括:①研制出CMP过程中纳米颗粒运动观测系统[5
综 合 报 告 7 与它们足部的微纳米尺度的刚毛结构密切相关。与通常机械加工得到的粗糙表面可用球形 或者椭球等来近似描述微观的粗糙峰形状不同，在扫描电镜下观察壁虎脚趾刚毛的微观结 构发现其末端是纳米量级的铲状薄板结构。传统接触模型考虑的多为常见加工表面的粗糙 度，发展了考虑球 / 平面接触的 Johnson-Kendall-Roberts（简称 JKR）等模型，在这些模 型中主要考虑了不同表面之间作用势的分布情况，预测了脱附黏着力的大小，该力在不同 分离方向上是各向同性的。传统球 / 平面的接触模型不能解释生物体刚毛这样的各向异性 微纳结构的易脱附行为。 清华大学的田煜与国外合作，提出了同时考虑摩擦力和黏着力的薄板剥离模型［12］： 接触区域范德华力产生摩擦力，剥离区范德华力产生黏着力。壁虎通过脚趾卷入和卷出宏 观动作，和刚毛自身的弯曲结构，可调节对刚毛末端的铲状薄板结构的剥离角度。脚趾卷 入时对应小剥离角度和强黏着与摩擦，卷出时大剥离角度对应弱黏着与摩擦，从而可改变 摩擦力和黏着力三个数量级以上，实现强黏附和易脱附。这种分区域考虑微观黏着与摩擦 的模型也适用于其他微纳米结构的摩擦学行为的分析。根据黏着的剥离区域模型，提出了 通过调节表面背部基底刚度、倾斜微柱几何与力学参数去优化强黏附、易脱附性能的方 法，制备了末端带薄板结构的仿生表面，具有与天然壁虎刚毛类似的黏着与摩擦的各向异 性，并研制了可对平面结构进行垂直抓持与释放的夹持器原型［13，14］。这些研究有助于深 入理解微纳米结构的黏着与摩擦来源及其耦合规律，并展示控制和利用微纳结构与表面间 的范德华力产生的黏着力的方法。 2. 材料磨损 对材料磨损的研究旨在揭示摩擦过程中的材料去除机制，以及寻求润滑和表面处理技 术控制摩擦和减少磨损。它对于国民经济的发展具有重要意义，不仅能够通过减摩降噪为 国家节约资源和能源，同时可为我国高端制造业的发展奠定技术基础。本小节着重介绍近 5 年我国在材料磨损基础研究领域取得的重要进展，主要内容包括化学机械抛光（Chemical Mechanical Polishing， CMP）中的磨损、微观磨损、复合微动磨损、碳基薄膜磨损和载流磨 损 5 个方面。 （1） CMP 抛光中的磨损 CMP 是超大规模集成电路制造的关键工艺步骤之一，是同时实现晶圆局部及全局平 坦化的唯一手段。一直以来，超精密加工过程中产生的摩擦和磨损现象属于摩擦学研究领 域，同样，CMP 过程中的材料去除机理也需要用摩擦与磨损理论解释。CMP 受化学作用、 机械作用、热效应等各种因素的影响，过程极为复杂，到目前为止材料去除机理尚不完全 清楚。因此，对 CMP 过程中的摩擦、磨损与润滑现象进行研究，是揭示材料去除机理的 基础，也是提升 CMP 效率和质量的关键。 清华大学雒建斌、路新春团队针对集成电路铜互连布线和新型阻挡层的 CMP 过程中 的润滑状态、摩擦化学行为和化学机械协同作用下的材料去除机理等关键问题开展了系统 研究，并取得了一定进展，具体包括：①研制出 CMP 过程中纳米颗粒运动观测系统［15］