3)单道型：单道型X射线荧光光谱仪一般有二个探测器。分别用来测量重元素和轻元素：有4到10块分光晶体，根据被测元素选择其中一块晶体：只有一个测角器和一个计算记录器，每次只能测一个元素。纯粹的单道型X射线荧光光谱仪已经趋于淘汰，目前所使用的基本都是多道型X射线荧光光谱仪图6一8是一个平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪的示意图。11
3) 单道型：单道型X射线荧光光谱仪一般有二个 探测器。分别用来测量重元素和轻元素；有4到10块分 光晶体，根据被测元素选择其中一块晶体；只有一个测 角器和一个计算记录器，每次只能测一个元素。纯粹的 单道型X射线荧光光谱仪已经趋于淘汰，目前所使用的 基本都是多道型X射线荧光光谱仪。 图6—8是一个平行束法单道扫描型X射线荧光光谱 仪的示意图。 11
x光管晶体高压变压器狭缝流气式正比记录仪X射线计数管闪烁样品计数管电源控制器计数率表样品脉冲高X射线水冷系统0度分析器定标器高压电源抽真空计算机测角器控制样品操作图6一8平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪示意图12
图6—8 平行束法单道扫描型X射线荧光光谱仪示意图 12
4）多道型：多道型X射线荧光光谱仪基本上是相当于许多单道型的光谱仪构成的，每个通道都有自己已的狭缝、晶体、探测器、计数记录器。定量测试时，每个通道都能测量一个元素。一般目前使用的多道型x射线荧光光谱仪都含有4-5个通道。图6一9是一个聚焦法多道型X射线荧光光谱的示意图。13
4)多道型： 多道型X射线荧光光谱仪基本上是相当 于许多单道型的光谱仪构成的，每个通道都有自己的狭 缝、晶体、探测器、计数记录器。定量测试时，每个通 道都能测量一个元素。一般目前使用的多道型X射线荧光 光谱仪都含有4-5个通道。 图6—9是一个聚焦法多道型X射线荧光光谱的示意 图。 13
仪器的输出控制部分仪器的X射线分光部分脉冲高度分析器探测器积分继电器第二获缝探测器光管积分电路HI外标选择级继电器品体第样品去探测器狭纤数字电压表高压变压器探测器打印机高压电源X射线计算机接口水冷系统图6—9聚焦法多道型X射线荧光光谱仪示意图14
图6—9 聚焦法多道型X射线荧光光谱仪示意图 14
AccV : 15:0(kV),BC : 99.7(nA),Beam Size: 100(μm),SC:83.2(nA); Sampling Time:60.0(ms/point) 4 min Mode[ldentification Result]LiF/CH4RAPICH11401000Class1:O,Mn,Co,NiNiKa12Class2Class3:Al,S,P120Ni La1,2800QuantitativeCorrectionMethodZAF4100No.ElementK-ratioMass%(snn00.3491440.07(sunnkaisuou60080NAl.0.410.002902s0.001610.16MnKa1,24Mn0.1564213.5160-AlKa1,2400Co0.057625.54Ni39.110.42168NiL40-OKa1Pt0.010631.20200100.00NiKD1Co Ka1,220MnKb1Ni Ka1(2)NI Kb1(2)010.150.200.250.350.81.01.62.40.301.21.41.8202.2Wavelength(nm)Wavelength(nm)PET/CH3LSA55/CH21002000OKa80-1500NIKa1,2(2)(snos(nn60-1000as40NiKb1(2Mn Ka1,2(2)50020PtMa1,2SKa12 ptMbSNdaO Ka(2)wlwehwnahpispniph0I0.30.40.50.60.70.8202.53.03.54.04.55.01.5Wavelength(nm )Wavelength(nm)上图就是典型的全聚焦型多道XRF定性谱图4块分光晶体能进行全元素（Be~U）定性。然后根据元素的主峰净峰高，可以计算元素的含量15
上图就是典型的全聚焦型多道XRF定性谱图，4块分光晶体能进行全元素 （Be~U）定性。然后根据元素的主峰净峰高，可以计算元素的含量。 15