222nm 182nm 171nm Rayleigh limit Abbe limit Sparrow limit d=061w NA d=050h NA d=0474 NA A=510 nm NA=14
透镜的分辨率极限 Ro 0.6122 M nsina nsina.数值孔径(numerical aperture,NA) Visible Light:~6000 A X-rays: λ0.5-2.5A Electrons: λ~0.05 17
透镜的分辨率极限 17 nsin: 数值孔径(numerical aperture, NA)
数值孔径与分辨率 Ro 0.612λ △Yo= 数值孔径(N.A) M nsina Numerical Aperture NA=n·sinc (a)g=7°NA=0.12 (b)C=20°NA=0.34 (c)a=60°NA=0.87 Light Cone (a) (b) (c) Figure 1 18
数值孔径与分辨率 18 数值孔径(N.A.)
数值孔径的大小代表了镜头的集光能力 N.A.nsina R1 Ri R2 R2 n=1,air n=1.52,oil 19
数值孔径的大小代表了镜头的集光能力 19 n=1, air n=1.52, oil R1 R1 R2 R2 N.A. = nsin