实验步骤 *4、两分钟后机械泵工作稳定，开预阀，使气压从105 降到10pa,关预阀。开电磁阀，分子泵电源，分子 泵开关。 米 5、待分子泵读数100以上，开高阀满刻度，使气压 低于1*103，开基片加热，温度稳定后真空抽气完成。 *6、关真空计，开气瓶旋钮，开膜厚监控仪，设置膜 厚参数
实验步骤 4、两分钟后机械泵工作稳定，开预阀，使气压从105 降到10pa，关预阀。开电磁阀，分子泵电源，分子 泵开关。 5、待分子泵读数100以上，开高阀满刻度，使气压 低于1*10-3 ，开基片加热，温度稳定后真空抽气完成。 6、关真空计，开气瓶旋钮，开膜厚监控仪，设置膜 厚参数
实验步骤 *7、开电子束控制柜电源，开腔灯丝开关，扫描开关， X调o.7/Y调0，由“预置”调节灯丝电流为o3A,预 热5min. 米 8、“束流控制”开至自动。高压选择“8K”,开手 柄“高压” *9观察束斑是否在坩埚正中央，如不在（如有紫光等 ),通过手柄XY调整
实验步骤 7、开电子束控制柜电源，开腔灯丝开关，扫描开关， X调0.7/ Y调0 ，由“预置”调节灯丝电流为0.3A，预 热5min。 8、“束流控制”开至自动。高压选择“8Kv”，开手 柄“高压” 9 观察束斑是否在坩埚正中央，如不在（如有紫光等 ），通过手柄XY调整
实验步骤 *10通过“预置”调节束流至20mA预熔5分钟后，缓 慢加大束流50、100、150、200mA,至料完全融化 米 11开步进电机控制电源，使样品托盘转动 *12按膜厚检测仪“startbegin”两下自动镀膜开始
实验步骤 10 通过“预置”调节束流至20mA预熔5分钟后，缓 慢加大束流50、100、150、200mA，至料完全融化 。 11开步进电机控制电源，使样品托盘转动 12 按膜厚检测仪“startbegin”两下自动镀膜开始
实验步骤 *13到达镀膜终点后，依次关步进电机，手柄“高压 ” 和“高压”选择 *14调节“预置”使灯丝电流为0.3A,关腔灯丝开关， 扫描开关，电子束控制柜电源，镀膜完成。 * 15冷却20min后关高阀。关分子泵，先按停下按钮， 等待数值为0，然后按关闭按钮。停稳后关电磁阀
实验步骤 13到达镀膜终点后，依次关步进电机，手柄“高压 ”和“高压”选择 14调节“预置”使灯丝电流为0.3A，关腔灯丝开关， 扫描开关，电子束控制柜电源，镀膜完成。 15冷却20min后关高阀。关分子泵，先按停下按钮， 等待数值为0，然后按关闭按钮。停稳后关电磁阀
实验步骤 *16开放气阀取样。 *17关舱门，开预阀降至10pa,关机械泵， *18关真空控制柜电源，关总电源，冷却水，气瓶
实验步骤 16开放气阀取样。 17关舱门，开预阀降至10pa，关机械泵， 18关真空控制柜电源，关总电源，冷却水，气瓶