本节思政要点 *1.了解电子束蒸发的原理是能掌握好电子束蒸发技术的前提 ,所以理论的前提是很重要的,只有理论才能指导实践,实 践促进对理论的理解。坚持理论和实践的辩证统一
本节思政要点 1.了解电子束蒸发的原理是能掌握好电子束蒸发技术的前提 ,所以理论的前提是很重要的,只有理论才能指导实践,实 践促进对理论的理解。坚持理论和实践的辩证统一
本节恩政要点、 * 2.电子束蒸发步骤也是根据设备工作原理来实现的,绝不是 简单的罗列,所以了解了电子束蒸发的原理,才能很好的牢固 的掌握操作步骤。理论指导实践
本节思政要点 2.电子束蒸发步骤也是根据设备工作原理来实现的,绝不是 简单的罗列,所以了解了电子束蒸发的原理,才能很好的牢固 的掌握操作步骤。理论指导实践
本节恩政要点、 米 3只有认真执行了电子束蒸发设备的各个按照顺序的步骤, 才有可能成功的实现薄膜的制备,因此在实际工作中,绝不 能不按照实际情况,侥幸的蒙混过关,同学们要实事求是, 并坚持实事求是的重要精神
本节思政要点 3.只有认真执行了电子束蒸发设备的各个按照顺序的步骤, 才有可能成功的实现薄膜的制备,因此在实际工作中,绝不 能不按照实际情况,侥幸的蒙混过关,同学们要实事求是, 并坚持实事求是的重要精神
清洗 沾污 可能来源 颗粒 设备、环境、气体、去 离子水、化学试剂 金属离子 设备、化学试剂、反应 离子刻蚀、离子注入 有机物 室内气氛、光刻胶、存 储容器、化学试剂 自然氧化层 环境湿气、去离子水冲 洗
沾污 可能来源 颗粒 设备、环境、气体、去 离子水、化学试剂 金属离子 设备、化学试剂、反应 离子刻蚀、离子注入 有机物 室内气氛、光刻胶、存 储容器、化学试剂 自然氧化层 环境湿气、去离子水冲 洗 清洗
清洗 *分三阶段 *预清洗:清除表面严重污染,如油污、微粒、水汽 *清洗:进一步清除表面残留物 *干燥
清洗 分三阶段 预清洗:清除表面严重污染,如油污、微粒、水汽 清洗:进一步清除表面残留物 干燥