(2)薄膜型 在石英基片上蒸发或溅射一层半导体薄膜制 成(厚度0.1um以下)。上下为输出电极和加 热电极,中间为加热器
（2）薄膜型 在石英基片上蒸发或溅射一层半导体薄膜制 成（厚度0.1 μm以下） 。上下为输出电极和加 热电极，中间为加热器
(3)厚膜型 将金属氧化物粉末、添加剂粘合剂等混合 配成浆料,将浆料印刷到基片上,制成数十 微米的厚膜。 灵敏度、工艺性、机械强度和一致性等方面, 厚膜气敏元件较好。 以上三种气敏器件都附有加热器,在实际应用时,加热器 能使附着在测控部分上的油雾、尘埃等烧掉,同时加速气 体氧化还原反应,从而提高器件的灵敏度和响应速度
（3）厚膜型 将金属氧化物粉末、添加剂粘合剂等混合 配成浆料，将浆料印刷到基片上，制成数十 微米的厚膜。 灵敏度、工艺性、机械强度和一致性等方面， 厚膜气敏元件较好。 以上三种气敏器件都附有加热器, 在实际应用时, 加热器 能使附着在测控部分上的油雾、尘埃等烧掉, 同时加速气 体氧化还原反应, 从而提高器件的灵敏度和响应速度
金属氧化物 金属氧化物 输出极 加热电极 输出极 加热器 加热电极 烧结型 薄膜型 半导体氧化物P电极 氧化铝基片 厚膜型 加热器
烧结型 厚膜型 薄膜型 加热电极 输出极 输出极 加热器 金属氧化物 金属氧化物 氧化铝基片 半导体氧化物 Pt电极 加热器 加热电极
工作原理 利用半导体材料与气体相接触时,材料电阻发生变 化的效应来检测气体的成分或浓度。 气敏元件多采用SnO2、ZnO等
利用半导体材料与气体相接触时，材料电阻发生变 化的效应来检测气体的成分或浓度。 气敏元件多采用SnO2、ZnO等