元素的平衡蒸气压随温度的变化 IT' Q 00 O x0.10012001Bo0000 度/ 曲线上的点标明的是相应元素的熔点
元素的平衡蒸气压随温度的变化 曲线上的点标明的是相应元素的熔点 ——————
元素的蒸发速率(物质通量) 当元素的分压低于其平衡蒸气压时,元素 发生净蒸发。反之,元素发生净沉积。蒸发时, 单位表面上元素的净蒸发速率(物质通量)等于 (原子/cm2s) a为一个介于0~1之间的系数;P和pb 是元素的平衡蒸气压和实际分压。当C=1 且P1=0时,蒸发速率Φ取得最大值 由此,可以计算物质的蒸发、沉积速率
元素的蒸发速率(物质通量) 为一个介于 01 之间的系数；pe 和ph 是元素的平衡蒸气压和实际分压。当 =1， 且ph=0 时，蒸发速率取得最大值 由此，可以计算物质的蒸发、沉积速率 2 MRT N ( p p ) A e h − = 当元素的分压低于其平衡蒸气压时，元素 发生净蒸发。反之，元素发生净沉积。蒸发时, 单位表面上元素的净蒸发速率(物质通量)等于 （原子/cm2 s）
元素的质量蒸发速率 元素蒸发速率的另一种表达形式为单位表 面上元素的质量蒸发速率 (g/cm2. s) 由于元素的平衡蒸气压随温度的增加很快,因 而对元素蒸发速率影响最大的因素是蒸发源所 处的温度
元素的质量蒸发速率 由于元素的平衡蒸气压随温度的增加很快，因 而对元素蒸发速率影响最大的因素是蒸发源所 处的温度 元素蒸发速率的另一种表达形式为单位表 面上元素的质量蒸发速率 2 RT M ( p p ) h = e − （g/cm2 s）
元素的蒸发 根据物质的特性,物质的蒸发有两种类型: ◆在低于熔点时,元素的蒸气压已较高(如Cr、Ti Mo、Fe、Si等)。此时,直接利用由固态物质的 升华现象,即可实现元素的热蒸发 即使是到了元素的熔点以上,其平衡蒸气压也 低于10Pa。此时,需要将物质加热到其熔点以 上。大多数金属的热蒸发属于这种情况 石墨没有熔点,而其升华温度又很高,因而多利用 石墨电极的放电过程来使碳元素发生热蒸发
元素的蒸发 根据物质的特性,物质的蒸发有两种类型: ◆ 在低于熔点时，元素的蒸气压已较高(如Cr、Ti、 Mo、Fe、Si等)。此时，直接利用由固态物质的 升华现象，即可实现元素的热蒸发 ◆ 即使是到了元素的熔点以上，其平衡蒸气压也 低于10-1Pa。此时，需要将物质加热到其熔点以 上。大多数金属的热蒸发属于这种情况 石墨没有熔点，而其升华温度又很高，因而多利用 石墨电极的放电过程来使碳元素发生热蒸发
元素蒸发时的形态 纯光紫多是以单个原子、但 有时也可能是以原子团的形式蒸发进入气相 的。比如: Cu As
元素蒸发时的形态 一般认为，纯元素多是以单个原子、但 有时也可能是以原子团的形式蒸发进入气相 的。比如： Cu, As2