扫描电镜工作原理和构造 主要应用 形貌观察 元素（成分）分布 「扫描电镜可以做什么」 拓展应用 能谱仪 材料的成分分析 波谱仪 EBSD 晶体材料的结构分析 16
16 - 主要应用 - 拓展应用 能谱仪 波谱仪 EBSD 材料的成分分析 晶体材料的结构分析 形貌观察 元素（成分）分布 「 扫描电镜可以做什么 」 扫描电镜工作原理和构造
扫描电镜工作原理与结构 栅极 灯丝 电子光学系统 阳极 探测器 显示和控制系统 聚光镜 电子束 光栏 物镜 偏转线圈 样品室 二次电子 试样 接收器 电子光学系统：由电子枪、聚光镜、物镜和扫 电路系统（电路板、真空系统） 描线圈等部件组成。它的作用是将来自电子枪 的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束来轰 击样品，使样品产生各种物理信号
样品室 探测器 电子光学系统 显示和控制系统 电子光学系统：由电子枪、聚光镜、物镜和扫 描线圈等部件组成。它的作用是将来自电子枪 的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束来轰 击样品，使样品产生各种物理信号。 扫描电镜工作原理与结构 电路系统(电路板、真空系统）
电子源 热电子发射 场发射 参数 钨灯丝 LaB6灯丝 肖特基 冷场 阴极材质 W LaBs Zr0/W(100) W(310) 工作温度[K] 2,800 1,900 1,800 常温 电子源直径 50 5 0.015 0.0025 亮度[A/cm2.sr] 104 105 108 109 能量分散[eV] ~2.3 ≈1.5 0.7 0.3 工作真空度[Pa] <10-3 <10-5 <1x10-7 <1x10-8 闪烁 无需 无需 无需 1次/天 累计寿命 100~200h 1年 1~2年 3~5年 钨灯丝 LaB灯丝 场发射灯丝
参数 热电子发射 场发射 钨灯丝 LaB6灯丝 肖特基 冷场 阴极材质 W LaB6 ZrO/W (100) W(310) 工作温度 [K] 2,800 1,900 1,800 常温 电子源直径 [um] 50 5 0.015 0.0025 亮度 [A/cm2.sr] 104 105 108 109 能量分散 [eV] ～2.3 ～1.5 ～0.7 ～0.3 工作真空度 [Pa] < 10-3 < 10-5 < 1x10-7 < 1x10-8 闪烁 无需 无需 无需 1次/天 累计寿命 100～200h 1年 1～2年 3～5年 钨灯丝 LaB6灯丝 场发射灯丝 电子源
扫描电镜工作原理与结构 电子光学系统 探测器 显示和控制系统 SE探测器 样品室 样品座 BSE探测器。 电路系统（电路板、真空系统） 样品室实景
样品室 探测器 电子光学系统 显示和控制系统 扫描电镜工作原理与结构 电路系统(电路板、真空系统） SE探测器 样品座 BSE探测器 样品室实景
扫描电镜工作原理与结构 光阴极 二次电子入射电子束 电子光学系统 冈烁体 背散射电子 探测器 显示和控制系统 8001000V 法拉第罩 信号检测放大系统 入射地子束 身时克 (元贰) 样品室 (表面形银信真) 日B1C,--巾了城1 电南（率导体PW节意收 及期伤研究) 电路系统（电路板、真空系统） 通过计算机实现电镜的操作控制以 及图像的显示和存储
样品室 探测器 电子光学系统 显示和控制系统 扫描电镜工作原理与结构 电路系统(电路板、真空系统） 通过计算机实现电镜的操作控制以 及图像的显示和存储 信号检测放大系统