X射线光电子能谱的物理学 原理及其在表面分析中的应用
X射线光电子能谱的物理学 原理及其在表面分析中的应用
第2页 主要内容 >什么是“X射线光电子能谱XPS)” >XPS中涉及的物理学原理 >如何解读XPS >XPS在现代科研工作中的地位及作用
第 2 页 主要内容 Ø 什么是“X射线光电子能谱（XPS）” Ø XPS中涉及的物理学原理 Ø 如何解读XPS Ø XPS在现代科研工作中的地位及作用
第3页 1.什么是“X射线光电子能谱” Surface Spectroscopies Incident Beams Exit Beams Electrons Electrons Photons (E-M Waves)】 Photons(E-M Waves) lons lons Atoms/Molecules Atoms/Molecules Sample
第 3 页 1. 什么是“X射线光电子能谱
第4页 X射线光电子能谱(XPS,全称为X-ray e Photoelectron Spectroscopy)是一种基于光电 ionization 效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物 potential 质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行 N 能量分析而获得的一种能谱。 M 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它 还有一个名称，即化学分析电子能谱(ESCA, 全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)
第 4 页 X射线光电子能谱（ XPS ，全称为X-ray Photoelectron Spectroscopy）是一种基于光电 效应的电子能谱，它是利用X射线光子激发出物 质表面原子的内层电子，通过对这些电子进行 能量分析而获得的一种能谱。 这种能谱最初是被用来进行化学分析，因此它 还有一个名称，即化学分析电子能谱（ ESCA， 全称为Electron Spectroscopy for Chemical Analysis）
第5页 √XPS是由瑞典Uppsala大学的K.Siegbahn及其同事历经近20年的 潜心研究于60年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方 法。鉴于K.Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被 授予1981年诺贝尔物理学奖。另外，他也被我校化学物理条聘为 名誉教授； XPS现象基于爱因斯坦于1905年揭示的光电效应，爱因斯担由于 这方面的工作被授予1921年诺贝尔物理学奖； X射线是由德国物理学家伦琴(Wilhelm Conrad Rǒntgen,Il845- 1923)于1895年发现的，他由此获得了1901年首届诺贝尔物理 学奖
第 5 页 ü XPS是由瑞典Uppsala大学的K. Siegbahn及其同事历经近20年的 潜心研究于60年代中期研制开发出的一种新型表面分析仪器和方 法。鉴于K. Siegbahn教授对发展XPS领域做出的重大贡献，他被 授予1981年诺贝尔物理学奖。 另外，他也被我校化学物理系聘为 名誉教授 ； XPS现象基于爱因斯坦于1905年揭示的光电效应，爱因斯坦由于 这方面的工作被授予1921年诺贝尔物理学奖； X射线是由德国物理学家伦琴（Wilhelm Conrad Röntgen，l845- 1923）于1895年发现的，他由此获得了1901年首届诺贝尔物理 学奖