7.2.2可编程ROM 总体结构与掩模ROM一样,但存储单元不同。 线 位线 *熔丝由易熔合金制成 *出厂时,每个结点上都,相当于存储单元都入了“1” *编程时将改写为“0的单元通以足够大的痴,使熔丝烧 是一次性编程,不能离
7.2.2 可编程ROM 总体结构与掩模ROM一样,但存储单元不同。 !! 是一次性编程,不能改写 编程时将改写为“0”的单元通以足够大的电流,使熔丝烧断 出厂时,每个结点上都有,相当于存储单元都存入了“ 1” 熔丝由易熔合金制成
7.2.3可擦除的可编程ROM 由于存储单元采用不同的工艺,ROM的写入方式和擦除数 据的方式也不同。分为EPROM、E2PROM。 1、EPROM EPROM采用叠栅注入MOS管(SIMOS管)构成存储单元。 SIMOS管有两层相重叠栅极,上层是控制栅、下层是浮置栅。 在EPROM出厂时,片内所有存储单元的浮置栅均无电荷。 S SiO2
7.2.3 可擦除的可编程ROM 由于存储单元采用不同的工艺,ROM的写入方式和擦除数 据的方式也不同。分为EPROM、E 2PROM。 1、EPROM EPROM采用叠栅注入MOS管(SIMOS管)构成存储单元。 SIMOS管有两层相重叠栅极,上层是控制栅、下层是浮置栅。 在EPROM出厂时,片内所有存储单元的浮置栅均无电荷
用SIMOS管构成的存储单元: W 位线 B 字线 工作原理: 若G上未充负电荷,则处正常逻辑高电平下通, 表示该单元所存的信患“1”。 若G上充以负电荷,则处正常逻辑高电平下通
若 G 上充以负电荷,则 G处正常逻辑高电平下不导通。 表示该单元所存的信息为“ 1”。 若 G 上未充负电荷,则 G处正常逻辑高电平下导通 , 工作原理: f c f c 用SIMOS管构成的存储单元:
G G D SiO D “写入”:在叠栅管物-S上同时加上较高电压5V), 漏源间形成导电沟道,沟道内电子获得动能, 在受到G。上所加正电压的电场阴引下, 部分电子穿Si0,到达G,形成注入电荷 “擦除”:紫外线穿速PROM芯片上的石英窗口 照射到叠栅上,使G周围的二氧化硅绝缘层产生 少量的空穴和电子对,形成导电通道,从而使如上 的电子回到衬底中。 注意:EPROM的擦写都必须是在专用的擦写器中完成
的电子回到衬底中。 少量的空穴和电子对,形成导电通道,从而使 上 照射到叠栅上,使 周围的二氧化硅绝缘层产 生 “擦除”:紫外线穿过 芯片上的石英窗口 部分电子穿过 到 达 形成注入电荷 在受到 上所加正电压的电场吸引下, 漏源间形成导电沟道,沟道内电子获得动能, “写入”:在叠栅管的 上同时加上较高电压( ) , f f 2 f c G G EPROM SiO G , G D − S 25V 注意:EPROM的擦写都必须是在专用的擦写器中完成
2.E2PROM 为克服紫外线擦除的PROM擦除慢,操作复杂的缺点 采用FLOTOX(浮栅隧道氧化层MOS管) D W,字线 D 位 T 隧道区 B G£与漏区之间有小的隧茵,当电场强大到一程度时, 在漏区和G之间出现导电隧道,蟲可以双向通过形成递, 这种现象称为隧道效应
2. E2PROM FLOTOX( MOS ) EPROM 采 用 浮栅隧道氧化层 管 为克服紫外线擦除的 擦除慢,操作复杂的缺点 这种现象称为隧道效应。 在漏区和 G之间出现导电隧道,电子可以双向通过形成电流 , G 与漏区之间有小的隧道区,当电场强大到一定程度时, f f