焦距可调不同之处1:RVo=A(NI)?物平面Vo-电子加速电压:R-透镜半径:NI-激磁线圈安匝数:像平面(1)A-与透镜结构有关的比例常数。像平面(2)减小激磁电流,可使电磁透镜磁场强度降低、焦距变长(由f变为f),像距增加(由v,变为v2),放大倍数增大
减小激磁电流,可使电磁透镜磁场强度降低、焦距 变长(由f 1变为f 2 ),像距增加(由ν1变为ν2),放 大倍数增大。 不同之处1:焦距可调 2 0 (NI) RV f A V0-电子加速电压; R-透镜半径; NI-激磁线圈安匝数; A-与透镜结构有关的比 例常数
不同之处2:沿螺旋线轨迹运动可见光以7折线形式穿过玻璃透镜磁转角β:电磁透镜成像时附加的旋转角度。物与像的相对位向对实像为180°±β
沿螺旋线 轨迹运动 可见光以 折线形式 穿过玻璃 透镜 磁转角:电磁透镜成像时附加的旋转角度。物与 像的相对位向对实像为180 不同之处2:
(3)电磁透镜的分辨本领光学玻璃透镜的分辨本领可以达到光学波长的1/2。对于电磁透镜来说,自前还远远没有达到分辨率是波长的一半(若加速电压是200KV,那么分辨率应该是0.00251nm)·由像差(球差、像散和色差)造成的,综合考虑各影响因素后:A一常数;△r = A23/4c1/4入一照明电子束波长:C.一透镜球差系数△r.的典型值约为0.25~0.3nm,高分辨条件下,△r可达约0.15nm
(3)电磁透镜的分辨本领 • 光学玻璃透镜的分辨本领可以达到光学波长的1/2。 • 对于电磁透镜来说,目前还远远没有达到分辨率是波长的 一半(若加速电压是200KV,那么分辨率应该是 0.00251nm)。 • 由像差(球差、像散和色差)造成的,综合考虑各影响因 素后: 3/ 4 1/ 4 0 A Cs r A—常数; —照明电子束波长; Cs—透镜球差系数 r0的典型值约为0.25~0.3nm, 高分辨条件下,r0可达约0.15nm
·球差即球面像差,是磁透镜中心区和边沿区对电子的折射能力不同引起的。·其中离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的电子折射程度更大。ImagePlane知乎@M
• 球差即球面像差,是磁透镜中心区和边沿区 对电子的折射能力不同引起的。 • 其中离开透镜主轴较远的电子比主轴附近的 电子折射程度更大
像散:由透镜磁场的非旋转对称引起的像差。透镜的极靴孔加工误差,上、下极靴的轴线垂直面光线交点错位、极靴材质不均以及极靴孔周围的局部污染等,都会引水平面光线焦点Q起透镜的磁场产生椭圆度。椭圆磁场长、短轴方向上的聚焦能力存在差异,结果成像物点通过透镜后不能在像平面上聚焦于一点
像散:由透镜磁场的非旋转对 称引起的像差。透镜的极靴孔 加工误差,上、下极靴的轴线 错位、极靴材质不均以及极靴 孔周围的局部污染等,都会引 起透镜的磁场产生椭圆度。椭 圆磁场长、短轴方向上的聚焦 能力存在差异,结果成像物点 通过透镜后不能在像平面上聚 焦于一点