第三章粒子与材料 (束)的相互作用
第三章 粒子（束）与材料 的相互作用
本章主要内容3.1电子束与材料的相互作用3.2离子束与材料的相互作用（自学）
本章主要内容 3.2 离子束与材料的相互作用（自学） 3.1 电子束与材料的相互作用
3.1电子束与材料相互作用口入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子的相互作用包括（1）入射电子的散射：（2）入射电子对固体的激发：（3）受激发粒子在固体中的传播
3.1 电子束与材料相互作用 p 入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时 与固体中粒子的相互作用包括： （1）入射电子的散射； （2）入射电子对固体的激发； （3）受激发粒子在固体中的传播
散射一、青口入射电子照射固体时，Z.在固体原子的库仑电场作中用下，入射电子方向将发28生改变，这种现象称为26+（电子）散射。有弹性(e)(b)散射和非弹性散射之分。图3-1电子散射示意图（a）与原子核作用；（b）与核外电子作用>在弹性散射中，电子只改变方向，基本无能量的变化。》在非弹性散射中，电子不但改变方向，能量也有不同程度的减小，转变为热、光、X射线和二次电子等
p入射电子照射固体时， 在固体原子的库仑电场作 用下，入射电子方向将发 生改变，这种现象称为 （电子）散射。 有弹性 散射和非弹性散射之分。 一、散射 图3-1 电子散射示意图 （a）与原子核作用； （b）与核外电子作用
1.弹性散射口原子质量为M，质量数为A，碰撞前原子处于静止状态，电子质量与原子质量之比为m/M=1/1836A，根据动量和能量守恒定理，入射电子与原子核碰撞后最大能量损失为：Eo= 2.17×10-30AEsin?maxA口以100keV的电子为例：小角度散射(20<5°)，电子的能量损失在10-3～10-leV的范围;背散射电子(20～元/2)，能量损失达到几个eV。因此，厂原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射
1. 弹性散射 3 0 2 max 2.17 10 sin E E A p原子质量为M，质量数为A，碰撞前原子处于静止状态，电 子质量与原子质量之比为me /M=1/1836A，根据动量和能量 守恒定理，入射电子与原子核碰撞后最大能量损失为： p 以100keV的电子为例： • 小角度散射(2 <5º)，电子的能量损失在10 -3～10 -l eV的 范围； • 背散射电子(2 ≈π/2)，能量损失达到几个eV。 因此，原子核对电子的散射一般情况下均可视为弹性散射