二、构造照明系统成像系统电子光学系统（镜筒）观察记录系统一般-10-"托，由机械泵和扩散泵完成真空系统新型电镜采用离子泵来提高真空度，达10-8托透射电子显微镜电子枪加速电子用小电流高电压电源供电控制系统透镜激磁用大电流低压电源EDS附加仪器系统WDSEELS
二、构造
电磁透镜1.能使电子束聚焦的装置称为电子透镜。静电透镜电子透镜恒磁透镜磁透镜电磁透镜电磁透镜：利用电磁线圈激磁。通过调节激磁电流调节磁场强度，从而调节透镜焦距和放大倍数
1. 电磁透镜 能使电子束聚焦的装置称为电子透镜。 静电透镜 电子透镜 恒磁透镜 磁透镜 电磁透镜 电磁透镜：利用电磁线圈激磁。通过调节激磁电流调节 磁场强度，从而调节透镜焦距和放大倍数
(1）电磁透镜的结构由两部分组成：冷却水进出水冷面披靴孔径马电子束·极靴：由软磁材料制成的中PACOEYETEIST心穿孔的柱体对称芯子。金电源间源软铁·有上下极靴，两极靴间有一极靴定间隙。间隙越小，磁场强线图度越强，对电子的折射能力越大。·极靴的孔径和间隙比是重要電子来参数，影响分辨率，需极高棕图的加工精度。铜线圈：环绕极靴polepiece
（1）电磁透镜的结构 由两部分组成： • 极靴：由软磁材料制成的中 心穿孔的柱体对称芯子。 • 有上下极靴，两极靴间有一 定间隙。间隙越小，磁场强 度越强，对电子的折射能力 越大。 • 极靴的孔径和间隙比是重要 参数，影响分辨率，需极高 的加工精度。 • 铜线圈：环绕极靴
磁透镜形成的轴对称的非均匀磁场对运动电子也起会聚作用。与光学玻璃透镜具有相似的光学性质
磁透镜形成的轴对称的 非均匀磁场对运动电子 也起会聚作用。与光学 玻璃透镜具有相似的光 学性质
(2)电磁透镜的光学性质与光学玻璃透镜相似，遵循薄透镜公式。fuVfTVVVMffu-fu式中：u、V、f-物距、像距、焦距，M为放大倍数
（2）电磁透镜的光学性质 式中：u、v、f-物距、像距、焦距，M为放大倍数。 u v f 1 1 1 1 v f v f v M u u f f f 与光学玻璃透 镜相似，遵循 薄透镜公式