色差：色差是由于成像电子的能量不同或波动，电子在透镜磁场中运动速度不同，从物面上一点散射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差低速电子焦点样品高速电子焦点低速电子成象高速电子成象图2-20倍率色差形成原理图
色差:色差是由于成像电子的能量不同或波动，电 子在透镜磁场中运动速度不同，从物面上一点散 射的电子不能聚焦在像面上同一点而形成的像差
2.照明系统作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明电子束。组成：电子枪和聚光镜钨丝发卡型钨灯丝热电子源LaB灯丝LaB6电子源场发射源：强电场作用
2. 照明系统 作用：提供亮度高、相干性好、束流稳定的照明 电子束。 组成：电子枪和聚光镜 电子源 钨丝 LaB6 热电子源 场发射源：强电场作用
灯丝电子枪梭偏压扭梭钨丝或LaBR和阳·灯丝（阴极）极间加高压，栅极交叉点do偏压起会聚电子束阳的作用，使其形成极直径为do、会聚/发A电子流散角为α的交又点。阴极栅极进人照相系统阳极三极热电子枪示意图
三极热电子枪示意图 •灯丝（阴极）和阳 极间加高压，栅极 偏压起会聚电子束 的作用，使其形成 直径为d0、会聚/发 散角为0的交叉点。 电子枪 钨丝或LaB6 阴极 栅极 阳极
聚光镜样品上需要照明的区域大小与放大倍数有关放大倍数愈高，照明区愈小，相应地要求以更细的电子束照明样品。由电子枪直接发射出的电子束的束斑尺寸较大，相干性也较差。为了更有效地利用电子，获得亮度高、相干性好的照明电子束，以满足透射电镜在不同放大倍数下的需要，由电子枪发射出来的电子束还需要进一步会聚，提供束斑尺寸不同、近似平行的照明束。这个任务通常由两个聚光镜（电磁透镜）完成
聚光镜 样品上需要照明的区域大小与放大倍数有关。 放大倍数愈高，照明区愈小，相应地要求以更细的 电子束照明样品。由电子枪直接发射出的电子束的 束斑尺寸较大，相干性也较差。为了更有效地利用 电子，获得亮度高、相干性好的照明电子束，以满 足透射电镜在不同放大倍数下的需要，由电子枪发 射出来的电子束还需要进一步会聚，提供束斑尺寸 不同、近似平行的照明束。这个任务通常由两个聚 光镜（电磁透镜）完成
聚光镜电子枪交叉点第一聚光镜：将电子枪第一C.交叉点束斑缩小。Ci交叉点第二聚光镜：调整束斑的尺寸和相干性。通过改变C,及C光栏激磁电流和光栏孔径实现会素角第二聚光镜光阑在样品平面上获得几um的照明电子束斑。样品双聚光镜照明系统光路图
聚光镜 双聚光镜照明系统光路图 在样品平面上获得几μm 的照明电子束斑。 第一聚光镜：将电子枪第一 交叉点束斑缩小。 第二聚光镜：调整束斑的 尺寸和相干性。通过改变 激磁电流和光栏孔径实现。 第二聚光镜光阑