第十章扫描电子显微分析与电子探针
第十章 扫描电子显微分析与电子探针
本章内容：10.1扫描电子显微镜工作原理及构造10.2像衬原理与应用10.3电子探针X射线显微分析
10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造 10.2 像衬原理与应用 10.3 电子探针X射线显微分析 本章内容:
10.1扫描电子显微镜工作原理及构造
10.1 扫描电子显微镜工作原理及构造
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工作原理电子枪从电子枪阴极发出的电对中线圈子束，受到阴阳极之间加速电压的作用，射向镜筒第一聚光镜经过聚光镜和物镜聚焦后形成一个具有一定能量、第二聚光镜扫描发强度和斑点直径的入射电CRT生器扫描线圈子束。在物镜上部扫描线CRT圈产生的磁场作用下，入物镜射电子束按一定时间空间消像散顺序作光栅式扫描。由于检测入射电子与样品之间的相互作用，从样品中激发出真空视频放大的信号被不同的检测器收图4扫描电子显微镜成像原理图集并成像
一、工作原理 从电子枪阴极发出的电 子束，受到阴阳极之间加 速电压的作用，射向镜筒。 经过聚光镜和物镜聚焦后， 形成一个具有一定能量、 强度和斑点直径的入射电 子束。在物镜上部扫描线 圈产生的磁场作用下，入 射电子束按一定时间空间 顺序作光栅式扫描。由于 入射电子与样品之间的相 互作用，从样品中激发出 的信号被不同的检测器收 集并成像