4.碳纳米管 1991年,日本电气公司的饭岛澄男(S.Ijma) 在研究巴基球分子的过程中发现碳纳米管(多 壁管)。1993年又发现单壁碳纳米管。 Iijima教授
11 1991年，日本电气公司的饭岛澄男（S. Iijima） 在研究巴基球分子的过程中发现碳纳米管（多 壁管）。1993年又发现单壁碳纳米管。 4. 碳纳米管
硅 硅有晶体硅和无定形硅两种同素异形体。 晶体硅是原子晶体,金刚石结构。 1.物理性质: (1)银灰色,有金属光泽,硬 而脆的固体 (2)熔、沸点高、硬度大; (3)晶体硅是良好的半导体。 2.化学性质: 常温下,硅的化学性质不活泼,除氢氟酸、氟气、强碱 外,不跟其他物质(如:氧气、氯气、硫酸等)起反应。 在加热情况下,硅也能跟一些非金属反应。 高温下化学性质活泼
12 二、硅 硅有晶体硅和无定形硅两种同素异形体。 1. 物理性质： (1)银灰色，有金属光泽，硬 而脆的固体; (2)熔、沸点高、硬度大; (3)晶体硅是良好的半导体。 2. 化学性质： 常温下，硅的化学性质不活泼，除氢氟酸、氟气、强碱 外，不跟其他物质（如：氧气、氯气、硫酸等）起反应。 在加热情况下，硅也能跟一些非金属反应。 高温下化学性质活泼。 晶体硅是原子晶体，金刚石结构
高纯度单晶硅片切割和刻蚀成集成电路 13
13 高纯度单晶硅片切割和刻蚀成集成电路
(1)与氟气反应: Si(s)+2F2(g)=sif(g) (2)与氢氟酸反应: Si(s)+4HF(g= siF4(g)+ 2H2(g) 与强碱溶液反应: Si(s)+ 2NaoH(aq)+H,o=Na2SiO3(S)+ 2H2(g) (4)与氯气反应: Si(s)+ 2Cl2(g)=sicl4(g (5)与氧气反应 Si(s)+O2 g=sio2(s) 14
14 (1)与氟气反应： (2)与氢氟酸反应： (3)与强碱溶液反应： (4)与氯气反应： (5)与氧气反应 Si(s) + 2F2 (g)= SiF4 (g) Si(s) + 4HF(g) = SiF4 (g) + 2H2 (g) Si(s) + O2 (g) = SiO2 (s) Si(s) + 2Cl2 (g) = SiCl4 (g) Si(s) + 2NaOH(aq) + H2O = Na2SiO3 (s) + 2H2 (g)
(6)与C反应: si+2C≌siC 2273K (7)与N2反应: Si+ 2N2= Si3N4 1573K (8)与混合酸反应: 3Si(S)+4HNO3+ 18HF=3H2SiF6+4NOT+ 8H2O H2Si6氟硅酸,强酸 (9)与金属反应 2Mg+Si→>Mg2Si(S
15 3Si(s) + 4HNO3 + 18HF = 3H2SiF6 + 4NO↑+ 8H2O H2SiF6 氟硅酸，强酸 Si + 2C == SiC (6)与C反应： 2273 K (7)与N2反应: Si + 2N2 == Si3N4 1573K (8)与混合酸反应： (9)与金属反应: 2Mg + Si → Mg2Si(s)