阴极 ·电子源： 1.钨灯丝一热发射 束流密度~10A/cm2 束斑大小~4nm 2.场发射源 束流密度105A/cm2 束斑大小<1nm 常用肖特基源
阴极 • 电子源： 1. 钨灯丝—热发射 束流密度~10A/cm2 束斑大小~4nm 2. 场发射源 束流密度105A/cm2 束斑大小< 1nm 常用肖特基源
阳极 ·加速从阴极发射出的电子。 ·为了操作安全，一般是阳极接地， 阴极带有负高压。-50~200KV
阳极 • 加速从阴极发射出的电子。 • 为了操作安全，一般是阳极接地， 阴极带有负高压。 -50~200kV
控制极 ·会聚电子束；控制电子束电流大小，调 节像的亮度。 ·阴极、阳极和控制极决定着电子发射的 数目及其动能，习惯通称为“电子枪” 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的 亮度、图像稳定度和穿透样品的能力
控制极 • 会聚电子束；控制电子束电流大小，调 节像的亮度。 • 阴极、阳极和控制极决定着电子发射的 数目及其动能，习惯通称为“电子枪” 。 • 电子枪的重要性仅次于物镜。决定像的 亮度、图像稳定度和穿透样品的能力
2.聚光镜 从电子枪发射出的电子束， 束斑尺寸大，相干性差，平行度 差，为此，需进一步会聚成近似 电子枪第一交叉点中50μm 平行的照明束，这个任务由聚光 镜实现，通常有两级聚光镜来聚 一 焦。如右图。 第一聚光镜M=1/10~1/50 中1μm C1一强磁透镜，=。动 C2一弱磁透镜，长焦，小a。 第二聚光镜M≈2 ◆为了调整束斑大小还在C2聚光 镜下装一个聚光镜光阑。通常经 二级聚光后可获得小的电子束斑 中2μ的 ◆为了减小像散，在C2下还要装 样品 一个消像散器，以校正磁场成轴 对称性的。 ◆电子枪还可以倾斜2一30，以 实现中心磁场成像
2. 聚光镜 从电子枪发射出的电子束， 束斑尺寸大，相干性差，平行度 差，为此，需进一步会聚成近似 平行的照明束，这个任务由聚光 镜实现，通常有两级聚光镜来聚 焦。如右图。 聚光镜的作用是会聚电子枪发射出的电子束，调节照明强 度、孔径角和束斑大小。一般采用双聚光镜系统，如图所 示。 2. 聚光镜 C1 —为强磁透 镜， 50 1 10 1 M −= C2 —弱磁透镜，长焦，小α 为了调整束斑大小，在C2 聚光 镜下装一个聚光镜光栏。通常 经二级聚光后可获得几um的电 子束斑； 为了减小像散，在C2 下还要装 一个消像散器，以校正磁场成 轴对称性的； 电子枪还可以倾斜2—3 0，以 实现中心暗场成像。 C1—强磁透镜， C2—弱磁透镜，长焦，小α。 1 1 10 50 M = − ◆为了调整束斑大小还在C2聚光 镜下装一个聚光镜光阑。通常经 二级聚光后可获得小的电子束斑 。 ◆为了减小像散，在C2下还要装 一个消像散器，以校正磁场成轴 对称性的。 ◆电子枪还可以倾斜2—30，以 实现中心磁场成像
聚光镜光阑 ·聚光镜光阑的作用： 限制照明孔径角。 在双聚光镜系统中，光阑常装在第二聚光镜 的下方。 ·光阑孔的直径为20-400μum。 ·作一般分析观察时，聚光镜的光阑孔直径可 用200-300um;作微束分析时，则应采用小 孔径光阑
聚光镜光阑 • 聚光镜光阑的作用: 限制照明孔径角。 • 在双聚光镜系统中，光阑常装在第二聚光镜 的下方。 • 光阑孔的直径为20-400μm 。 • 作一般分析观察时，聚光镜的光阑孔直径可 用200-300 μm ；作微束分析时，则应采用小 孔径光阑