©专藏江工大坐 主要内容CONTENT 材料科学与工程学院 ,2引言 ,扫描电镜结构与工作原理 第二章邦騁子显微镜 扫电 描电的主要性 ·扫描电镜图象及村度 王庆平 扫描电镜试样的制备 小结 2.1引言 JEOL扫描电子显撒 36年便已被提出 所以实用价值不大。经过各国科 不斯发 进了各有关半科的发展。 858340 © © 1-6301扬发射枪扫指电
（SEM） CONTENTS Ø Ø Ø Ø Ø Ø Ø 2.1 3 JEOL 4 5 JSM-6301F 6
飞纳台式场发射电镜 ⊙ SEM image (beetle) ©扫描电子显微镜 2.1引 2.1 扫描电子显徽镜(Seamning Electrom Microscope) 大薇贺地济惠子的分品达-a改
7 飞纳台式场发射电镜 SEM image (beetle) 9 1 0 Scanning Electron Microscope SEM 2.1 1 1 Light vs Electron Microscope 2.1
21引 2.1引言 电子像分辨本领可达 几告到几十万倍) 且连续可调： 动态观察) 利W州季场工泉季离 2SE的和工作原理 22SEM的构造和工作原理 22.1SE的结 子格 子 © 2.2S的构造和工作原理 © 2.2S的构造和工作原理 2,21SEM的结构 (4电子光学系统 用阴与阳灯丝可的高压产生高能士的 扫电6.信处理，像显示和记录系 、。,真空系熊 电子光系（ 用作格货八 电子枪的类型
• • • • 2.1 • SEM X WDX X EDX • 2.1 2.2.1 SEM 2.2 SEM 1 5 2.2 SEM 2.2.1 SEM 1 7 1 8
②22SD的构造和工作原理 2.2S的构造和工作原理 6.电藏进镜 c,扫描领圆 ★作用使电子爽装 可选用几个速来完 4样品室 样品上每一定位置进行各种分。 出特州中寿工率学离 ⊙ 2.2$E的构造和工作原理 © 2.2S的构造和工作原理 [②)情号收处，图像温示和记录承 (3)其空系能 作用：收探们样品在入射血子作用下产生的 学系统正常工作，防止样品污， 各种物理信号，并进行放大将信号检测放大系线 输出的调制信号转换为能显示在阴极射线管灾光屏 一情况下要求保神1010 上的图像，供现来或记录。 © 2.2S的构造和工作原理 2.2S的构造和工作原理 发出的
2 0 2 1 2 2 • 2-3 • , X • , , • • ——
2.3扫描电镜成像的物理信号 2.3扫描电镜成像的物理信 电子束与杆品的相互作用 人射电于件产生的情号 制将样季有工限手高 © 23扫描电镜成像的物理信号 (1)背散射电子 不同信号的用 a ering electron) 用 是指被国传 品中的于反弹回来的 分) 电子 的酸射角大 电子的 电 电子 非性收电于 电 肉后产生非弹 CL(览先 喜射后仍能反出样品表通，这就形 ⑧ (1)背敬射由子 (2)二次电子 (backscattering electron) electron) 聚电子的能 百通，从十电子快到 二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子 从上看，弹性射电子比弹性射电子所古 由于康 树，定地选行成分分标
• 电子束与样品的相互作用 不同信号的用途 backscattering electron • • • • • • • • • 1000Å 1 m backscattering electron （secondary electron） • • • •