8.3电子聚合物基电容式湿度传感器 8.3.1机理 8.3.2聚苯乙烯薄膜湿敏元件 8.3.3醋酸纤维有机膜湿敏元件 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.1 机理 8.3.2 聚苯乙烯薄膜湿敏元件 8.3.3 醋酸纤维有机膜湿敏元件 8.3 电子聚合物基电容式湿度传感器
8.3.1机理 口作为感湿材料的高分子聚合物大多是具有较小电介常数的电介质 (ε，=2-7)，而水分子偶极矩的存在大大提高了聚合物的介电常数 (e,=83); 口这类高分子能随周围环境的相对湿度大小成比例地吸附和释放水 分子； 因此将此类特性的高分子电介质做成电容器，测定其电容量的变 化，即可得出环境相对湿度。 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.1 机理 作为感湿材料的高分子聚合物大多是具有较小电介常数的电介质 (εr ＝2-7)，而水分子偶极矩的存在大大提高了聚合物的介电常数 (εr ＝83)； 这类高分子能随周围环境的相对湿度大小成比例地吸附和释放水 分子； 因此将此类特性的高分子电介质做成电容器，测定其电容量的变 化，即可得出环境相对湿度
8.3.2聚苯乙烯薄膜湿敏元件 口原理：用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团，随环境湿 度大小可吸湿或脱湿而引起介电常数的改变。 口制作方法： ① 在玻璃基片上镀上一层铝薄膜作为下电极 ② 用等离子聚合法在铝膜上镀一层0.05μm聚苯乙烯作为电容器的电介质 ③ 再在其上一层多孔金膜做为上电极。 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.2 聚苯乙烯薄膜湿敏元件 原理：用等离子聚合法聚合的聚苯乙烯因有亲水的极性基团，随环境湿 度大小可吸湿或脱湿而引起介电常数的改变。 制作方法： ① 在玻璃基片上镀上一层铝薄膜作为下电极 ② 用等离子聚合法在铝膜上镀一层0.05μm聚苯乙烯作为电容器的电介质 ③ 再在其上一层多孔金膜做为上电极
8.3.2聚苯乙烯薄膜湿敏元件 986 口该类元件的特点是： ó测湿范围宽，有的可覆盖全湿范围； 6使用温度范围宽，有的可达-40-+150C°； 6响应速度快，有的小于1s; 6尺寸小，可用于狭小空间的测湿； 6温度系数小，有的可忽略不计。 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.2 聚苯乙烯薄膜湿敏元件 该类元件的特点是： 测湿范围宽，有的可覆盖全湿范围； 使用温度范围宽，有的可达-40 - +150℃； 响应速度快，有的小于1s； 尺寸小，可用于狭小空间的测湿； 温度系数小，有的可忽略不计
8.3.3醋酸纤维有机膜湿敏元件 986 感湿材料：醋酸纤维。 口制作方法： ①在玻璃基片上蒸发下电极； ②将醋酸纤维按一定比例溶解于丙酮、乙醇等溶剂中配成感湿溶液； ③ 然后通过浸渍或涂覆的方法，在基片上附着一层0.5μm感湿膜； ④再用蒸发工艺制成多孔上电极。 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 8.3.3 醋酸纤维有机膜湿敏元件 感湿材料：醋酸纤维。 制作方法： ① 在玻璃基片上蒸发下电极； ② 将醋酸纤维按一定比例溶解于丙酮、乙醇等溶剂中配成感湿溶液； ③ 然后通过浸渍或涂覆的方法，在基片上附着一层0.5μm感湿膜； ④ 再用蒸发工艺制成多孔上电极