986 7.3.1聚苯胺复合薄膜电阻型气体传感器的制备 及特性研究 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 7.3.1 聚苯胺复合薄膜电阻型气体传感器的制备 及特性研究
好 986 主要内容 1.研究背景及研究内容 2.器件结构及气敏测试系统 3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 4.PANl/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄膜的气敏特性研究 5.结论 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 主要内容 1. 研究背景及研究内容 2. 器件结构及气敏测试系统 3. PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 4. PANI/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄膜的气敏特性研究 5. 结论
1.研究背景及研究内容 986 1.1课题来源及意义 口来源 >国家杰出青年科学基金一传感技术及其系统(60425101)项目。 口意义 环境监测 ,保障生命安全及健康 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.1 课题来源及意义 来源 ➢ 国家杰出青年科学基金――传感技术及其系统(60425101)项目。 意义 ➢ 环境监测 ➢ 保障生命安全及健康 1.研究背景及研究内容
1.研究背景及研究内容 986 1.2课题研究内容 理论研究 查阅文献 材料选择 器件设计 结果分析 气敏特性测试 薄膜表征 器件制备 PANI/SnO2PANI/TiO2 PANIPANI/TiO2 2气敏特性 C0气敏特性 60M分析 紫外可见光谱 红外光谱 表面活性剂 不同聚合温度 子酸掺杂剂 实验内容 电子科技大学敏席材料与传廊器 课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.2 课题研究内容 1.研究背景及研究内容
2.器件结构及气敏测试系统 986 2.1器件结构设计 ,平面叉指电极结构（金电极+基底） ,线宽（布线）、间距、对数、厚度 MEMS工艺 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.1 器件结构设计 ➢ 平面叉指电极结构（金电极+基底） ➢ 线宽（布线）、间距、对数、厚度 ➢ MEMS工艺 2.器件结构及气敏测试系统