Why electron microscope? Higher resolution in EM than you can in OM. Simultaneous analysis of morphology, composition and structure. SEM micrographs 1400X (e) 1400X TEM HRTEM micrograph micrograph 2800X LOM micrographs 四 6
Why electron microscope? • Higher resolution in EM than you can in OM. • Simultaneous analysis of morphology, composition and structure. 6
显微镜工作原理 灯 (光源)的 电子源 玻璃凸透镜 ☒ 聚光镜 ☒ 样品 样品 00 0 偏向线圈 物镜 ☒ ☒物镜 扫描 二次电子探头 样品 投影凸透镜 ☒ ☒ 投影镜 0 00 CRT 像 象 像 光学显微镜 透射电镜 扫描电镜 7
显微镜工作原理 7
LM Lamp TEM Electrons lllumination" Glass lens Electromagnetic lens Condenser lens Specimen Glass lens Electromagnetic lens Objective lens OM与TEM 相似性 First image Glass lens Projector lens Electromagnetic lens Eye Final image a858558 neg....m Eye Ocular Fluorescent screen 8
OM 与TEM 相似性 8
TEM成像原理 采用聚集电子束为照明源，照射试样，产生透 射电子信号 试样各区域的组织结构不同，透射电子的强度 不同，其与试样相应区域形貌、组织结构一一 对应 反映各微区组织结构特征的透射电子束，经多 级聚集放大，在荧光屏上，各微区电子强度分 布再现试样组织结构形貌 9
TEM成像原理 9 • 采用聚集电子束为照明源，照射试样，产生透 射电子信号 • 试样各区域的组织结构不同，透射电子的强度 不同，其与试样相应区域形貌、组织结构一一 对应 • 反映各微区组织结构特征的透射电子束，经多 级聚集放大，在荧光屏上，各微区电子强度分 布再现试样组织结构形貌
Electron beam Objective lens Objective aperture (back focal plane) Fixed diffraction pattern) SAD aperture Intermediate image 1 Strength→ Intermediate change lens TEM Intermediate Intermediate 衍射及成像 diffraction image 2 pattern Projector 模式 lens Fixed strength www.globalsino.com/EM/ Diffraction Final pattern Screen image (a) (b) 10
TEM 衍射及成像 模式 10