1、背徵散射电子( back scattering electrons BE) 电子射入试样后,受到原子的弹性和非弹 性散射,有一部分电子的总散射角大于90 重新从试样表面逸出,称为背散射电子。 特点: 1)能量高,大于50ev; 2)分辨率较低 3)产生与Z有关, 与形貌有关 原子序数
❖ 1、背散射电子（back scattering electrons, BE） ❖ 电子射入试样后，受到原子的弹性和非弹 性散射，有一部分电子的总散射角大于90° ， 重新从试样表面逸出，称为背散射电子。 ❖ 特点： ❖ 1）能量高，大于50ev； ❖ 2）分辨率较低； ❖ 3）产生与Z有关， ❖ 与形貌有关
2、二次电子( secondary electrons,SE) 入射电子在试样内产生二次电子所产生的二次 电子还有足够的能量继续产生二次电子,如此继 续下去,直到最后二次电子的能量很低,不足以 维持此过程为止。 特点: 1)能量低,为2-3ev。 2)仅在试样表面10nm层内产生 3)对试样表面状态敏感,显示表面微区的形貌 有效。 4)分辨率很高,是扫描电镜的主要成像手段。 5)与形貌密切相关,图象的景深大、立体感强, 常用于观察形貌
❖ 2、二次电子（secondary electrons, SE） ❖ 入射电子在试样内产生二次电子,所产生的二次 电子还有足够的能量继续产生二次电子，如此继 续下去，直到最后二次电子的能量很低，不足以 维持此过程为止。 特点： ❖ 1）能量低，为2-3ev。 ❖ 2）仅在试样表面10nm层内产生。 ❖ 3）对试样表面状态敏感，显示表面微区的形貌 有效。 ❖ 4）分辨率很高，是扫描电镜的主要成像手段。 ❖ 5）与形貌密切相关，图象的景深大、立体感强， 常用于观察形貌
3、吸收电子( absorption electrons,AE) 入射电子经多次非弹性散射后能量损失殆尽 不再产生其他效应,一般称为被试样吸收,这种电 子称为吸收电子。试样厚度越大,密度越大,吸收 电子就越多,吸收电流就越大。它被广泛用于扫描 电镜和电子探针中
❖ 3、吸收电子（absorption electrons, AE） ❖ 入射电子经多次非弹性散射后能量损失殆尽， 不再产生其他效应，一般称为被试样吸收，这种电 子称为吸收电子。试样厚度越大，密度越大，吸收 电子就越多，吸收电流就越大。它被广泛用于扫描 电镜和电子探针中
4、俄歇电子( Auger electrons,AuE) 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能 量不是以X射线的形式释放,而是用该能量将核外 另一电子打出,脱离原子变为二次电子,这种被电 子激发的二次电子叫做俄歇电子。 俄歇电子仅在表面1nm层内产生,适用于表面分 析
❖ 4、俄歇电子（Auger electrons, AuE） ❖ 如果原子内层电子能级跃迁过程中释放出来的能 量不是以X射线的形式释放，而是用该能量将核外 另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种被电 子激发的二次电子叫做俄歇电子。 俄歇电子仅在表面1nm层内产生，适用于表面分 析
5、透射电子( transmisive electrons,TE) 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时,入射电 子将穿透试样,从另一表面射出称为透射电子。如 果试样很薄,只有10-20nm的厚度,透射电子的 主要组成部分是弹性散射电子,成像比较清晰,电 子衍射斑点也比较明锐
❖ 5、透射电子（transmisive electrons, TE) ❖ 当试样厚度小于入射电子的穿透深度时，入射电 子将穿透试样，从另一表面射出称为透射电子。如 果试样很薄，只有10-20nm的厚度，透射电子的 主要组成部分是弹性散射电子，成像比较清晰，电 子衍射斑点也比较明锐