小3、轴上像散 轴上像散又可简称为像散,它是由于透镜磁 场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。 透镜像散图
❖ 3、轴上像散 ❖ 轴上像散又可简称为像散，它是由于透镜磁 场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。 ❖ 透镜像散图 ❖
4、畸变 球差还会影响图象畸变。 1)若存在正球差,产生枕形畸变b 2)若有负球差,将产生桶形畸变c。 令3)由于磁透镜存在磁转角,势必伴随产生旋转 畸变d。 b〕
❖ 4、畸变 ❖ 球差还会影响图象畸变。 ❖ 1）若存在正球差，产生枕形畸变b； ❖ 2）若有负球差，将产生桶形畸变c。 ❖ 3）由于磁透镜存在磁转角，势必伴随产生旋转 畸变d
五、电磁透镜的景深 景深(场深):透镜的景深是指在保持像清晰的 前提下,试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离。 换言之,在景深范围内,样品位置的变化并不影响 物像的清晰度。 令电磁透镜的特点:分辨好、景深大
❖ 五、电磁透镜的景深 ❖ 景深（场深）： 透镜的景深是指在保持像清晰的 前提下，试样在物平面上下沿镜轴可移动的距离。 换言之，在景深范围内，样品位置的变化并不影响 物像的清晰度。 ❖ 电磁透镜的特点：分辨好、景深大
第二节电子与固体物质的相互作用 电子束与物质相互作用,可以产生背散射电 子、二次电子、吸收电子、俄歇电子、透射电子 白色X射线、特征X射线、Ⅹ荧光。 电子束与物质相互作用图
❖ 第二节 电子与固体物质的相互作用 ❖ ❖ 电子束与物质相互作用，可以产生背散射电 子、二次电子、吸收电子、俄歇电子、透射电子、 白色X射线、特征X射线、X荧光。 ❖ 电子束与物质相互作用图 ❖
入射电子背散射电子 SEM 二次电子 Auger电子 阴极荧光 m由 特征和白色X辐射; 荧光X射线 EMPA 弹性散射电子,衍射电子 透射电子非弹性散射电子 TEM
弹性散射电子, 衍射电子 非弹性散射电子 背散射电子 透射电子 入射电子 二次电子 阴极荧光 Auger电子 吸收电子 特征和白色X辐射； 荧光X射线 EMPA SEM TEM