83.2基于液-固相转变的材料制备(一)、从熔体制备单晶材料4、焰熔技术焰熔技术指的是采用的原料是粉未,它们直接被加入到氢氧火焰中,也即利用H和0,燃烧的火焰产生高温,使粉体原料通过火焰洒下熔融,熔化后滴到下置的晶种上,在顶端缓慢地结晶,这样能够生长出很大的晶体。这种技术适用于制备一些高熔点的氧化物,如红宝石和蓝宝石等。材料科学与工程学院
焰熔技术指的是采用的原料是粉末,它们直接被加入到氢 氧火焰中,也即利用H2和O2燃烧的火焰产生高温,使粉体原料 通过火焰洒下熔融,熔化后滴到下置的晶种上,在顶端缓慢地 结晶,这样能够生长出很大的晶体。 这种技术适用于制备一些高熔点的氧化物,如红宝石和蓝 宝石等。 (一)、从熔体制备单晶材料 4、焰熔技术 材料科学与工程学院 § 3.2 基于液-固相转变的材料制备
83.2基于液一固相转变的材料制备(一)、从熔体制备单晶材料5、液相外延法(LPE)选择合适的衬底,可以从熔体中得到单晶薄膜。料舟中装有待沉积的熔体,移动料舟经过单晶衬底时,缓慢冷却在衬底表面成核,外延生长为单晶薄膜。在料舟中装入不同成分的熔体,可以逐层外延不同成分的单晶薄膜教馆豪乐品移动方向液相外延生长技术示意图(1)一热点偶(2)-石墨料舟(3)一不同组分熔体(4)衬底材料科学与工程学院
选择合适的衬底,可以从熔体中得到单晶薄膜。料舟中装有待沉积的熔 体,移动料舟经过单晶衬底时,缓慢冷却在衬底表面成核,外延生长为单晶 薄膜。在料舟中装入不同成分的熔体,可以逐层外延不同成分的单晶薄膜。 (1)-热点偶(2)-石墨料舟(3)-不同组分熔体(4)衬底 液相外延生长技术示意图 (一)、从熔体制备单晶材料 5、液相外延法(LPE) 材料科学与工程学院 § 3.2 基于液-固相转变的材料制备
83.2基于液-固相转变的材料制备大连理工大学梁秀平等人利用液相外延生长技术在覆盖了一层SiO,膜的GaAs(<100》)衬底上长出金字塔形微探针。(来源于《集美大学学报自然科学版》,2005年第10卷第4期30058线8:Om图2GaAs微探尖阵列的扫描电镜图片材料科学与工程学院
大连理工大学梁秀平等人利用液相外延生长技术在覆盖了一层SiO2膜的 GaAs(<100>)衬底上长出金字塔形微探针。(来源于《集美大学学报自 然科学版》,2005年第10卷第4期) 材料科学与工程学院 § 3.2 基于液-固相转变的材料制备
83.2基于液一固相转变的材料制备750STO(002)700-PZNT/STOLPEfilm550500SCOTAT4.50[010][100]400PZNT(002)350-300n250200-150-Pbo(112)100Un50-0OO33O2KV11SOKOm50604020/deg(a)(b)上海交通大学曾新华等人使用PbO作溶剂,利用液相外延技术在钛酸锶(STO)衬底((001)晶面)上获得具有一定取向的岛状Pb(Zn1/3Nb2/3)03-PbTi03(PZNT)外延膜,厚度有几个微米。(来源于《人工晶体学报》,2005年第34卷第5期)材料科学与工程学院
上海交通大学曾新华等人使用PbO作溶剂,利用液相外延技术在钛酸锶(STO) 衬底((001)晶面)上获得具有一定取向的岛状Pb(Zn1/3Nb2/3)O3-PbTiO3 (PZNT) 外延膜,厚度有几个微米。(来源于《人工晶体学报》,2005年第34卷第5期) 材料科学与工程学院 § 3.2 基于液-固相转变的材料制备
83.2基于液-固相转变的材料制备(b)(a)(c)图3样品LPES701的X射线貌相图和显微形貌中科院上海技术物理研究所魏彦峰等研究了利用液相外延技术获得的HgCdTe薄膜晶体的特性。HgCdTe薄膜晶体是制造红外探测器的首选材料。以(111)面Cdj-,Zn,Te为衬底,生成Hgi-xCd,Te薄膜。(来源于《红外与激光工程》,2006年第35卷第3期材料科学与工程学院
中科院上海技术物理研究所魏彦峰等研究了利用液相外延技术获得的 HgCdTe薄膜晶体的特性。 HgCdTe薄膜晶体是制造红外探测器的首选材料。 以(111)面Cd1-yZnyTe为衬底,生成Hg1-xCdxTe薄膜。(来源于《红外与激 光工程》,2006年第35卷第3期) 材料科学与工程学院 § 3.2 基于液-固相转变的材料制备