高频感应蒸发 工作原理：线圈在高频磁场作用下因产生强大的涡流损失和 磁滞损失而升温，使材料受热蒸发。 接地电压侧 优点：污染少 蒸发速率大 不易产生飞溅 坩埚 操作简单 缺点：不能预除气 功率不能微调 高电压侧 装置复杂、昂 贵 高频感应加热（叶志镇2008）
在蒸发技术中，电子束蒸发占主流 *电子束蒸发的概念： 电子束蒸发是电子束加热方式的蒸发，是在高真空中 ,电子枪发出电子经系统加速聚焦形成电子束、再 经磁场偏转入射到坩锅的成膜材料上加热，并使之 变成气态原子沉积到硅片上的物理过程
在蒸发技术中，电子束蒸发占主流 电子束蒸发的概念： 电子束蒸发是电子束加热方式的蒸发，是在高真空中 ，电子枪发出电子经系统加速聚焦形成电子束、再 经磁场偏转入射到坩锅的成膜材料上加热，并使之 变成气态原子沉积到硅片上的物理过程
电子束蒸发系统 硅片架 硅片 电子束 蒸发料 加速聚 磁场 坩锅 集系统 冷却水 电子枪 电子束蒸发系统
电子束蒸发系统 电子束蒸发系统
DZS-500型电子束蒸发镀膜机 口▣ 。中科院沈阳科学仪器研制中心
DZS-500型电子束蒸发镀膜机 • 中科院沈阳科学仪器研制中心
电子束蒸发系统的组成： 1。高压电源系统 2.真空系统 3.电子加速聚焦偏转系统 4.工艺腔 5,水冷坩锅系统（通常为带旋转的四坩锅) 6.载片架
电子束蒸发系统的组成： 1. 高压电源系统 2. 真空系统 3. 电子加速聚焦偏转系统 4. 工艺腔 5. 水冷坩锅系统（通常为带旋转的四坩锅） 6. 载片架