I表示二次电子流，它包括（真）二次电子和特征二次电 子（俄歇电子），从表面发射出去的二次电子流与入射 电子流的比值(1Ⅱ)称为二次电子产额，用口表示。 <a经) 二次电子产额与电子能量和入射角的普遍关系 17
11 I S表示二次电子流，它包括（真）二次电子和特征二次电 子（俄歇电子），从表面发射出去的二次电子流与入射 电子流的比值（I S /I 0）称为二次电子产额，用 表示。 二次电子产额与电子能量和入射角的普遍关系
入射电子束 A B (a) is 形貌衬度原理 (b》 B (c) .A D 2
12 形貌衬度原理