1.0.2核外电子对入射电子的散射 【原子中核外电子对入射电子的散射作用是 一种非弹性散射。 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的 能量部分转变为热，部分使物质产生各 种激发现象（如，原子电离、自由载流子、 二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能 量损失电子、阴极发光、电子感生电导等) 这些激发现象称为电子激发
6 1.0.2 核外电子对入射电子的散射 l 原子中核外电子对入射电子的散射作用是 一种非弹性散射。 l 在非弹性散射过程中，入射电子所损失的 能量部分转变为热，部分使物质产生各 种激发现象（如，原子电离、自由载流子、 二次电子、俄歇电子、特征X射线、特征能 量损失电子、阴极发光、电子感生电导等） 。这些激发现象称为电子激发
1.0.3散射截面 入射电子被原子核散射时，散射角2口的大小与瞄准距 离rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关， 其关系为 Ze 2= 或 Ze V(2g) 口r2叫做弹性散射裁面，”用口表示。 |当入射电子与核外电子作用时，散射角2口为 e 2g 或 Vr V(2g) 口r2为核外电子的非弹性散射裁面，用口表示。 (1) 弹性散射比例：口n/ZO.=Z,Electron Backscattered Diffraction分析方法可有效采集重元素物质的衍射信号 (2)在透射电子显微镜中，重元素、轻元素散射后，出现 暗、亮衬度，为什么？
7 1.0.3 散射截面 l 入射电子被原子核散射时，散射角2 的大小与瞄准距 离rn、原子核电荷Ze以及入射电子的加速电压V有关， 其关系为 rn 2叫做弹性散射截面，用 n表示。 l 当入射电子与核外电子作用时，散射角2 为 re 2为核外电子的非弹性散射截面，用 e表示。 (1) 弹性散射比例： n /Z e =Z，Electron Backscattered Diffraction分析方法可有效采集重元素物质的衍射信号 (2) 在透射电子显微镜中，重元素、轻元素散射后，出现 暗、亮衬度，为什么？
1.0.4电子吸收 [指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数 衰减。电子被吸收时所达到的深度称为最大穿 入深度(R) 0.06 0.05 I kev 3 keV 0.04 5keV 0.03 0,02 0.01 100 200300400500600700800 /nm 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 (E,=1keV、3keV、5keV和8keV)
8 1.0.4 电子吸收 l 指由于电子能量衰减而引起的强度（电子数） 衰减。电子被吸收时所达到的深度称为最大穿 入深度（R）。 入射电子在固体中传播时的能量损失曲线 （E0 =1keV、3keV、5keV和8keV）
1.1、电子与固体作用产生的信号 01.电子与固体作用产生的信号 02.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 03.电子能谱 9
9 1.1、电子与固体作用产生的信号 Ø1.电子与固体作用产生的信号 Ø2.电子非弹性散射平均自由程和信 息深度 Ø3.电子能谱
1.电子与固体作用产生的信号 表面元素发射的总强度 背散射电子流 X射线 二次电子流 样品吸收电流 透射电子流 图33入射电子束与固体作用产生的发射现象
10 1. 电子与固体作用产生的信号 图3-3 入射电子束与固体作用产生的发射现象 背散射电子流 二次电子流 X射线 表面元素发射的总强度 透射电子流 样品吸收电流