项目八 静电防护与电子产品的工艺管理
任务引入 静电是人们非常熟悉的一种自然现象。静电的许多功 能已经应用到军工或民用产品中,如静电除尘、静电喷涂、 静电分离、静电复印等。然而,静电放电(ESD, Electro Static discharge)却又成为一种危害,造成电子产品和 设备的功能紊乱甚至部件损坏。现代半导体器件的规模越 来越大,工作电压越来越低,这也导致了半导体器件对外 界电磁干扰敏感程度也大大提高。ESD对电路引起的干扰 和它对元器件、CMOS电路及接口电路造成的
静电是人们非常熟悉的一种自然现象。静电的许多功 能已经应用到军工或民用产品中，如静电除尘、静电喷涂、 静电分离、静电复印等。然而，静电放电(ESD，ElectroStatic Discharge)却又成为一种危害，造成电子产品和 设备的功能紊乱甚至部件损坏。现代半导体器件的规模越 来越大，工作电压越来越低，这也导致了半导体器件对外 界电磁干扰敏感程度也大大提高。ESD对电路引起的干扰 和它对元器件、CMOS电路及接口电路造成的
、静电的产生和释放 静电是由不同物质接触、分离或相互摩擦而产生的。 在企业生产环境里,可能产生静电的物质或活动是常见的 例如,人在车间里工作,与塑料、上腊、涂漆的工作台面 各种木材、塑料、纤维表面的座椅以至水泥或塑料地板的 摩擦,毛料、人造纤维服装与身体的摩擦,都会产生静电 的积累;组装、加工、测试、包装、运送、修理,喷雾清 洁剂、吸锡器、烙铁、刷子、塑料袋,凡使用工具进行带 有摩擦性质的操作,甚至用抹布擦抹或用复写纸填写报表, 都是产生静电的原因。各种设备,如计算机、变压器、烤 箱,运行时也会产生电磁场和热场的变化,也能导静电
一、静电的产生和释放 静电是由不同物质接触、分离或相互摩擦而产生的。 在企业生产环境里，可能产生静电的物质或活动是常见的。 例如，人在车间里工作，与塑料、上腊、涂漆的工作台面， 各种木材、塑料、纤维表面的座椅以至水泥或塑料地板的 摩擦，毛料、人造纤维服装与身体的摩擦，都会产生静电 的积累；组装、加工、测试、包装、运送、修理，喷雾清 洁剂、吸锡器、烙铁、刷子、塑料袋，凡使用工具进行带 有摩擦性质的操作，甚至用抹布擦抹或用复写纸填写报表， 都是产生静电的原因。各种设备，如计算机、变压器、烤 箱，运行时也会产生电磁场和热场的变化，也能导致静电
二、静电的危害 静电不正常的放电,可能造成异常的高电压和瞬间 的大电流,使电子元器件的性能变坏甚至失效,也会干 扰电子产品的正常工作。 静电防护与电子产品的工艺管理静电的基本物理特 性为:吸引或排斥;与大地有电位差;会产生放电电流 这三种特性对电子组件、电子产品与设备有三种影响:
二、静电的危害 静电不正常的放电，可能造成异常的高电压和瞬间 的大电流，使电子元器件的性能变坏甚至失效，也会干 扰电子产品的正常工作。 静电防护与电子产品的工艺管理静电的基本物理特 性为：吸引或排斥；与大地有电位差；会产生放电电流。 这三种特性对电子组件、电子产品与设备有三种影响：
1.吸附尘埃 物体产生静电后,在其周围形成静电场,两个物体间 产生吸引,对重量仅为几毫克或更低的毛发、纸屑、尘埃、 纤维有非常明显的吸附作用。在现代大规模集成电路生产 中,芯片的线宽已达到0.1μm,一颗直径为几微米的尘埃 吸附在芯片上,可以造成十几根芯线之间的绝缘强度降低, 或造成短路使芯片损坏
1.吸附尘埃 物体产生静电后，在其周围形成静电场，两个物体间 产生吸引，对重量仅为几毫克或更低的毛发、纸屑、尘埃、 纤维有非常明显的吸附作用。在现代大规模集成电路生产 中，芯片的线宽已达到0.1μm，一颗直径为几微米的尘埃 吸附在芯片上，可以造成十几根芯线之间的绝缘强度降低， 或造成短路使芯片损坏