第三章 电容式传感器 3.1电容式传感器的原理与结构 3.2电容式传感器的测量电路 3.3电容式传感器的应用 ght by Dong CuDon't diffuse!
第三章电容式传感器 》利用电容器的原理,将非电量转换成电容量,进而实 现非电量到电量的转化的器件或装置,称为电容式传 感器,它实质上是一个具有可变参数的电容器。 由于材料、工艺,特别是测量电路及半导体集成技术 等方面已达到了相当高的水平,因此寺生电容的影响 得到较好地解决,使电容式传感器的优点得以充分发 挥 它的优点是测量范固大、灵敏度高、结构简单、适应 性强、动态响应肘间短、易实现非接触测量等。 可以广泛的应用在力、压力、压差、振动、位移、厚 度、加速度、液位、物位、湿度和成分含量等测量之 ht by Dong Chfamtepontdrffuse!
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第一节电容式传感器的原理与结构 》平板电容器电容量为: C 当被测参数变化使得式中的A,d或ε发生变化肘,电 容量C也随之变化。 基本工作原理: 如果保持其中两个参数不变,而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。 》电容式传感器 可分为变极距式、变面积式和变介质式三种。 I tht by
一、变极距式电容传感器 1、.变极距式电容式传感暴的工作原狸 原理:仅改变极距一个参数, 》把极距的变化转换为电容量的变化, 》通过测量电路就可转换为电量输出。 》初始电容量C0为: A E 》若电容器极板间距离由初始值do缩小Δd,电容量增大ΔC E·A E C=Ca+△C= C △d △d △d d(1 传感器的输出特性Cf(d 》不是线性而是双曲线关糸。 d I tht by